全自动晶圆激光开槽机技术协议

需积分: 9 2 下载量 177 浏览量 更新于2024-08-05 收藏 228KB DOCX 举报
"设备技术协议是两个公司在设备采购过程中签署的一项技术性文件,旨在明确设备的技术规格、性能要求、安装条件、验收标准以及保修服务等重要事项。这份协议以‘全自动晶圆激光开槽机’为例,由某某有限公司作为甲方与乙方深圳市大族激光科技产业集团股份有限公司进行协商和签订。" 在设备技术协议中,首先明确了设备的基本信息,包括设备名称“全自动晶圆激光开槽机”,型号“HL-G25”,以及制造商“深圳市大族激光科技产业集团股份有限公司”。设备适用于处理不同类型的晶圆,如low-k和非low-k晶圆,支持8和12英寸的产品,并对来料尺寸和Frame规格进行了详细规定。此外,协议指出,如果需要更改来料尺寸或切割尺寸,必须提前通知制造商进行设计变更。 接着,协议详细列出了设备的技术要求,这可能包括但不限于设备的精度、效率、稳定性等关键性能指标。同时,它提到了主要硬件技术参数,这些参数通常涉及到设备的核心组件,如激光系统、运动控制系统和自动化装置等。 在设备安装条件部分,协议指明了设备使用的环境条件,可能涉及温度、湿度、洁净度等要求,并且提出了安装技术要求。设备配置及附件清单则详细列出了合同设备的主要配置和耗材,包括出厂验收报告、合格证、随机件、备件清单、使用说明书、设计图纸和技术数据等,所有技术数据均要求提供中文版本。 设备的交货检验及安装调试环节,协议规定了乙方(制造商)应在出厂前通知甲方(购买方),并在设备到达后及时派出工程师进行交货检验和安装调试。在此过程中,任何与合同要求不符或因非运输原因造成的损坏,乙方需在规定时间内免费更换或修复。 设备验收是协议中的关键环节,双方将根据协议的技术要求共同制定验收标准和方法。验收合格后,双方需在验收报告上签字确认。设备的保修期为验收合格后的12个月,期间内乙方负责免费维修,保修期过后,双方可以友好协商后续的维护费用。 这份设备技术协议全面涵盖了设备采购过程中的关键技术细节,确保了设备的质量和性能符合双方的期望,同时也保护了双方的权益。对于设备制造商和使用者来说,这样的协议具有重要的法律效力和指导意义。