基于Petri网的单臂树形多组合设备建模与调度研究

本文研究了缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备的建模与调度问题。在半导体制造中，多组合设备被广泛应用于晶圆加工。对于缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备，当机械手的移动时间远远小于晶圆加工时间时，它是否存在一个1-晶圆最优周期调度仍是个有待解决的问题。 本文首先运用Petri网对系统进行建模，经过对单组合设备调度和相邻设备协调运作的分析，证明系统的1-晶圆周期达到下界值时总是可调度的，并给出相应的调度算法。最后通过实例验证了算法的有效性以及实用性。 知识点： 1. 缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备的建模：使用Petri网对系统进行建模，可以描述设备的状态和转移关系，分析设备的可达性和安全性。 2. 单臂树形多组合设备的调度问题：研究机械手的移动时间和晶圆加工时间之间的关系，探讨如何实现1-晶圆最优周期调度。 3. Petri网在系统建模中的应用：Petri网是一种有向图，用于描述系统的动态行为和状态转移关系。它可以用于分析系统的可达性、安全性和性能。 4. 多组合设备在半导体制造中的应用：多组合设备被广泛应用于晶圆加工，可以提高生产效率和产品质量。 5. 缓冲区容量对系统性能的影响：缓冲区容量的大小对系统性能有着重要的影响，研究缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备可以提高系统的效率和可靠性。 6. 调度算法的设计：设计一个高效的调度算法，可以提高系统的性能和效率，降低成本和能源消耗。 7. 系统建模和仿真技术：使用系统建模和仿真技术，可以对系统进行仿真和分析，预测系统的行为和性能。 8. 半导体制造中的晶圆加工：晶圆加工是半导体制造中的一个重要步骤，研究晶圆加工的过程和机理可以提高产品质量和生产效率。 9. 机械手的移动时间对系统性能的影响：机械手的移动时间对系统性能有着重要的影响，研究机械手的移动时间可以提高系统的效率和可靠性。 10. 系统的可靠性和安全性分析：研究系统的可靠性和安全性，可以提高系统的性能和效率，降低故障和事故的可能性。