书书书
第
33
卷
第
1
期
光
学
学
报
Vol.33
,
No.1
2013
年
1
月
犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃
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,
2013
基于单光弹调制器的米勒矩阵测量技术
曹绍谦
1
,
2
步
扬
1
王向朝
1
李思坤
1
汤飞龙
1
,
2
李中梁
1
1
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海
201800
2
中国科学院大学,北京
( )
100049
摘要
针对已有米勒矩阵测量方法的不足,提出了一种 基于 单 光弹 调制 器 的米 勒矩 阵 测量 技术,给出 了米 勒 矩阵
测量优化算法及系统参数两步校准法。该技术通过两步校准法对系统参数进行 校准 测量,利 用优 化算法 计算 得到
待测样品的米 勒矩 阵。 实验结 果表 明,待测
1
/
4
波片 相位 延迟量 测量 值为
90.4185°
,误差 在标 称偏差
λ
/
300
以内,
快轴方位角测量值为
0.2348°
,误差在最大旋转误差
0.4°
以内。同快轴方位角为
0°
的
1
/
4
波片标准米 勒矩 阵相比,
待测
1
/
4
波片米勒矩阵各元素最大相对误差的直接测量值和间接测量值分别为
1.97%
和
0.83%
,均小于最大相对
误差的模拟仿真值
2.11%
。通过提高旋转台的读数精度和减小相位延迟量的标称偏差,可以进一步减小米勒 矩阵
各元素的最大相对误差。
关键词
测量;偏振;米勒矩阵;单光弹调制器;校准
中图分类号
O436.3
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犃犗犛201333.0112006
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,
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1
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1
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;
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120.2130
;
120.5050
;
120.5060
;
120.5410
;
260.1440
;
260.5430
收稿日期:
20120719
;收到修改稿日期:
20120906
基金项目:国家自然科学基金(
60938003
,
61205102
,
61275207
)和科技部国际科技合作项目(
2011DFR10010
)资助课题。
作者简介:曹绍谦(
1986
—),男,硕士研究生,主要从事超大数值孔径光刻成像与图形保真技术等方面的研究。
Email
:
s
q
cao
@
siom.ac.cn
导师简介:步
扬(
1973
—),男,研究员,硕士生导师,主要从事信息光电子技术方面的研究。
Email
:
bu
y
an
g
@
siom.ac.cn
(通信联系人)
01120061