1991年全自动引线键合机程序设计与关键工艺研究

本文档标题为"智能引线键合机程序设计 (1991年)",主要探讨的是针对冶金行业集成电路和半导体生产工艺中至关重要的引线键合技术。该论文的作者陈晓奇在导师林俊伯的指导下，设计了一款全自动引线键合机，以提高生产效率和产品质量。 全自动引线键合机采用SDK-85单板机和两个8085A扩展系统构成的二级控制系统。其中，单板机作为核心控制器，负责整体系统的协调，并驱动工作台、劈刀和Z轴运动。关键部分是利用投影仪模板上的光敏管作为检测元件，通过检测光敏管产生的光电流，形成闭环控制系统，确保键合过程的精确性。 系统的设计目标是解决管芯粘片在实际生产中的偏差问题，特别是针对14引脚芯片，选取对角线上的两个内焊点A和B作为定位基准。通过移动工作台，调整管芯的位置，通过光敏电流的大小来判断对齐情况。允许的误差范围被设定为： - 横向误差△x：±300微米 - 纵向误差△y：±300微米 - 角度误差△θ：±5度 光敏管的工作原理是基于光电效应，其输出电流与入射光通量成正比。利用这一特性，可以利用受光面积A、电子电荷q以及光子产生载流子效率n的线性关系（I = AqnI），通过控制光敏管的受光面积，实现对管芯位置的精确控制。 文章还强调了这种自动化设计的可行性研究，尤其是在批量生产中，对管芯的准确对准是决定产品质量的关键步骤。通过引入智能控制系统，可以显著减少人为操作的误差，提升生产线的精度和一致性，从而优化整个半导体制造流程。 这篇论文不仅介绍了智能引线键合机的硬件架构和控制策略，还着重讨论了其在解决集成电路生产过程中重要工艺环节的实用价值，对于提高制造业的竞争力和技术水平具有重要意义。