欧姆龙晶圆片托架落座传感器EE-SPY801_802特性及规格介绍

欧姆龙的EE-SPY801_802 DS C 3_3是一款专用于晶圆片托架落座检测的传感器，其设计旨在精确监控晶圆片在导槽中的定位。这款传感器的主要特性包括： 1. **定位方式**：通过与导槽配合，用户可以方便地设置晶圆片托架的落座位置，确保生产过程中的准确性和一致性。 2. **材料选择**：传感器与晶圆片托架接触面采用了耐化学药品性强的氟素树脂，提高了其耐用性和适应不同工作环境的能力。 3. **光学系统**：独特的光学系统设计能够稳定地检测大部分类型的晶圆片托架，即使在复杂光照条件下也能提供准确的信号。 4. **抗干扰技术**：采用变调光方式，有效减少外部光线干扰，确保在各种照明环境下都能正常工作。 5. **环保特性**：使用环保导线，无滑石粉，体现了欧姆龙对可持续性的考量。 6. **规格参数**： - 检测距离：标准检测物体范围为0~5mm（反射率90%的白色画纸）和0~3mm（反射率10%的黑纸）。 - 动作模式：当晶圆片托架到位时，动作指示灯亮起（橙色）。 - 光源：采用GaAs红外发光二级管，波长940nm。 - 电源和电流：DC12~24V电压，最大消耗电流30mA，控制输出支持NPN集电极开路，具有低关机电流。 - 响应时间：快速响应，5ms以下。 - 环境条件：工作温度范围为－10~+55℃，保存温度为－25~+65℃，相对湿度5%~85%工作，5%~95%保存。 7. **防护等级**：符合IEC规格IP30，表示防尘和防止直径大于1mm的物体侵入，有一定的防溅水能力。 8. **连接方式**：传感器通过导线引脚连接，便于安装和集成到自动化系统中。 9. **注意事项**：请参考第3页的“注意事项”部分，了解设备的安装、使用限制以及可能的安全提示。 此外，用户可以访问欧姆龙官网（www.fa.omron.com.cn）获取关于标准认证对象机型的最新信息和适用范围。 欧姆龙EE-SPY801_802 DS C 3_3是一款高效、耐用且灵活的晶圆片托架落座检测传感器，适用于对精度和可靠性有高要求的半导体制造过程。