薄膜沉积法下表面反射对高阶菲涅耳透镜衍射效率的影响及减小策略

本文主要探讨了表面反射对16阶菲涅耳透镜性能的影响。菲涅耳透镜作为一种衍射光学元件，通过薄膜沉积法制造，具有轻量化、小型化和提高系统设计灵活性的优点，特别是在光学成像系统中的应用。作者基于标量衍射理论，运用菲涅耳公式和傅里叶变换，深入分析了二氧化硅薄膜和基底的表面反射如何影响菲涅耳透镜-1级的衍射效率。实验结果显示，表面反射显著影响了菲涅耳透镜的成像质量，表现为图像清晰度下降和光能损耗。 在制作过程中，菲涅耳透镜面临的挑战包括对准精度、线宽控制以及刻蚀深度控制的问题。表面反射带来的光能损失不仅降低了整体的光学效率，还可能影响到系统的整体性能。为了减少这种负面影响，文中提出了一种解决方案，即通过蒸镀增透膜技术来减小表面反射，从而提高透镜的衍射效率和成像质量。 本文的研究对于优化衍射光学元件的设计，特别是菲涅耳透镜的应用，具有实际意义。它为设计者提供了关于如何有效处理表面反射问题的方法，这对于提升光学系统的性能和降低成本至关重要。作者的工作表明，在追求光学系统更高效、紧凑的同时，必须充分考虑并解决表面反射带来的影响，以确保系统的光学性能达到预期。 总结来说，该论文的核心内容包括菲涅耳透镜的制作技术、表面反射对衍射效率的影响以及相应的解决方案。这为光学系统的设计者提供了一套实用的工具，帮助他们在实际应用中优化菲涅耳透镜的性能，尤其是在减少表面反射引起的光能损失和提升系统图像质量方面。