BRONKHORST质量流量控制器的工作原理与应用
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更新于2024-08-07
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"这篇文档主要介绍了基于Java的CA认证中心的工作原理,并且详细阐述了BRONKHORST质量流量控制器和质量流量计的用途、特点、结构和工作原理,涉及气体流量测量和控制技术在多个行业的应用。"
文章中提到的知识点如下:
1. **CA认证中心的工作原理**:虽然标题提及了基于Java的CA认证中心,但在提供的描述中并未具体展开。通常,CA(Certification Authority)认证中心是网络安全中用于发放和管理数字证书的机构,Java可能在这里是指使用Java语言实现CA的相关功能,比如证书的签发、验证和管理。但具体的实现细节未在描述中给出。
2. **流量传感器工作原理**:流量传感器采用毛细管传热温差量热法,通过加热电桥检测气体流量,无需考虑温度和压力的影响。信号被放大并与设定值比较,通过闭环控制调节阀门来保持流量稳定。
3. **质量流量计和控制器**:
- **质量流量计 (MFM)**:用于精确测量气体质量流量,常见于科研和生产中的多种领域,如半导体制造、化学工业等。
- **质量流量控制器 (MFC)**:在MFM的基础上增加了调节阀门和PID控制电路,可以实现流量的精确控制和设定。
4. **特点**:BRONKHORST的MFC和MFM具有高精度、高重复性、快速响应、软启动、稳定性和宽工作压力范围等优点,适用于各种环境,包括高压或真空条件。
5. **结构**:MFC主要由流量传感器、分流器通道、流量放大电路、调节阀门和PID控制电路组成。
6. **工作原理**:流量传感器的信号经过放大并与设定值比较,差值信号控制阀门调整流量,确保实际流量与设定值一致。流量显示仪提供稳压电源、数字电压表、设定电位器等功能,用于监控和控制流量。
7. **应用**:在电子工艺设备、真空镀膜、光纤熔炼、混气配气等领域有广泛应用,同时也可以在毛细管测量、气相色谱仪等分析仪器中使用。
8. **流量控制范围和分辨率**:MFC的流量控制范围为(2~100)%F.S,量程比为50:1,流量分辨率可达0.1%F.S。
9. **操作模式**:当阀门处于“最大开度”时,MFC可以作为MFM使用,仅用于测量流量。
文章主要涵盖了质量流量控制技术的理论知识和实践应用,而CA认证中心的具体实现则需要额外的信息才能详细讨论。
2022-06-13 上传
2024-04-29 上传
2012-07-18 上传
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liu伟鹏
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