"半导体封装 DPS 流程概述及晶圆加工工序介绍"
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更新于2023-12-27
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半导体封装是一项精密的工艺,涉及多个复杂的流程和工序。在封装过程中,晶圆从研磨切割到编带的整个流程需要经历多个关键的步骤,每个步骤都需要精细的操作和严格的质量控制。
首先,半导体封装DPS流程的介绍如下:PKG IQC,Lamination,BG Inline,Wafer Marking,Saw,AOI,UV,TnRF,VIVF,OGI,Back Grinding,Detaping,Wafer Marking,Foil Mount,Packing,BSP,OVEN,Laser Grooving。在PKG IQC阶段,需要对来料进行检验和核对来料信息,并确认来料品质。在Lamination阶段,进行研磨晶圆的膜贴膜,而BG Inline则是背面研磨。Wafer Marking阶段是晶圆标记,Saw则是切割,AOI是光学检测,UV是紫外灯照射,TnRF是测试,VIVF是光学检测,OGI是光学检测,Back Grinding是背面研磨,Detaping是去除胶带,Foil Mount是贴箔,Packing是打包,BSP是后段测试,OVEN是烘烤,Laser Grooving是激光开槽。
晶圆从研磨切割到编带的流程包括研磨、切割、膜贴膜、标记、检测、烘烤、激光开槽等多个工序。在研磨阶段,晶圆需要进行精细的研磨和打磨,以确保表面平整。接着是切割阶段,晶圆需要被切割成小块,以便进行后续的封装工序。在膜贴膜阶段,晶圆需要进行膜贴膜操作,以保护其表面不受损。在标记阶段,晶圆需要进行标记,以便后续的识别和跟踪。在检测阶段,晶圆需要接受多种不同的检测手段,以确保其质量和性能符合要求。在烘烤阶段,晶圆需要进行烘烤处理,以确保其内部结构稳定。最后在激光开槽阶段,晶圆需要进行激光开槽操作,以完成最后的加工工序。
总的来说,半导体封装DPS流程和晶圆从研磨切割到编带的整个流程都是十分复杂和精密的,需要严格的质量控制和精细的操作技术。这些工序和流程的顺利进行对于半导体封装工艺的成功至关重要,也对产品的性能和可靠性有着重要的影响。因此,对这些流程和工序的严格把控和不断优化是非常重要的。
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