基于多模干涉耦合输入/输出结构的聚合物双微环谐振滤波器研究

"聚合物双环谐振滤波器的研究" 聚合物双环谐振滤波器是一种基于多模干涉（MMI）耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器。该器件采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层，聚合物CYTOP为下包层，在硅基底上完成了器件的制备。该器件的波导端面尺寸为2 μm×1 μm，与设计值相符，扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。 该器件的直波导传输损耗的测试结果表明，在1550 nm波长，直波导传输损耗约为2.0 dB/cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明，MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比，微环谐振滤波器的通光性能良好，实现了滤波功能，器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm，与设计参数值很接近。 研究结果表明，采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行。该技术可以应用于集成光学和微环谐振领域，具有广泛的应用前景。 在该器件中，SU-8材料的选择是非常重要的。SU-8是一种紫外光敏聚合物材料，具有高的光学性能和化学稳定性，能够满足微环谐振滤波器的要求。同时，CYTOP材料作为下包层也起到了重要的作用，能够确保器件的稳定性和可靠性。 在器件的制备过程中，硅基底的选择也是非常重要的。硅基底能够提供良好的热导性能和机械强度，能够满足微环谐振滤波器的要求。 聚合物双环谐振滤波器是一种高性能的微环谐振滤波器，能够满足集成光学和微环谐振领域的需求。该技术具有广泛的应用前景，能够推动相关行业的发展。 在该领域中，需要进一步的研究和开发，以提高器件的性能和稳定性。同时，需要探索新的材料和技术，以满足不断增长的需求。 聚合物双环谐振滤波器是一种高性能的微环谐振滤波器，具有广泛的应用前景，需要进一步的研究和开发，以推动相关行业的发展。