纳米级正弦相位调制菲佐干涉仪的多光束干扰抑制策略

本文主要探讨了在正弦相位调制菲佐干涉仪中，如何有效地减小多光束干涉对测量结果的影响。菲佐干涉仪是一种利用光的干涉现象进行高精度测量的技术，然而，当入射光在菲佐板和待测物体表面发生多次反射时，会产生多个光束的干涉，这会导致干涉信号的强度与相位变化不再遵循传统的双光束干涉模式，即不呈现严格的余弦分布。这种非线性效应可能导致相位信息提取时出现误差，尤其是在进行纳米级微小位移测量时，误差可能更加显著。 作者针对这一问题，首先对多光束干涉条件下正弦相位调制菲佐干涉仪的信号解调算法进行了深入分析，揭示了其误差来源。他们发现，传统的双光束干涉算法在处理复杂的多光束干涉信号时，无法准确捕捉相位信息，这直接影响了测量结果的精确度。 接着，他们提出了对干涉仪相关参数的优化策略，包括但不限于调整菲佐板的结构、改变入射光的角度或强度等，以减少多光束干涉的影响。这些优化旨在改善信号的线性特性，使得相位信息提取更为准确。 为了进一步减小误差，文中还讨论了误差补偿技术的应用。通过实时监测和分析多光束干涉带来的影响，可以在测量过程中对干扰信号进行校正，从而修正测量结果。这种方法强调了动态调整和实时处理的重要性，以达到减小多光束干涉影响的目标。 总结来说，这篇论文通过对正弦相位调制菲佐干涉仪的多光束干涉问题进行深入研究，不仅提供了理论分析，还提出了解决方案，包括参数优化和误差补偿策略，以提升其在纳米精度微小位移测量中的性能。这对于提高菲佐干涉仪在精密测量领域的应用潜力具有重要意义。