书书书
第
34
卷
第
5
期
光
学
学
报
Vol.34
,
No.5
2014
年
5
月
犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃
犕犪
狔
,
2014
大口径光学元件磁流变加工驻留时间求解算法
李龙响
1
,
2
邓伟杰
2
张斌智
2
白
杨
1
,
2
郑立功
2
张学军
2
1
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春
130033
2
中国科学院大学,北京
( )
100049
摘要
为了解决大口径 光学 元 件 磁 流变 高 精 度 加工 问 题,基 于 矩阵 运 算 模 型,提 出 了
SBB
(
Subs
p
aceBarzilaiand
Borwein
)最小非负二乘与自适应
Tikhonov
正 则化 相结 合 的驻 留时 间 快速 求解 方 法。 同时,在 一次 收 敛中 采 用 双
去除函数优化螺旋线 轨 迹 下 光 学 元 件 的 加 工,保 证 中 心 区 域 与 全 口 径 面 形 精 度 一 致。 仿 真 表 明 该 算 法 与 常 用
LawsonHanson
最小非负二乘法相比,计算精度一致 且求 解效 率 大幅 提高。 对
Φ
600 mm
以 彗差 为主 的 光学 表面
模拟加工,峰谷(
PV
)值和均方根(
RMS
)值从初始的
2.712
λ
与
0.461
λ
中心区域全局一致收敛到
0.306
λ
和
0.0199
λ
(
λ
=632.8nm
)。因此,提出的算法能够在有效保证面形收敛精度的同时快速获得 稳定可 靠的 驻留时 间分 布,为磁
流变抛光应用于大口径光学元件提供有力支持。
关键词
光学制造;驻留时间;矩阵运算;全局收敛;磁流变抛光
中图分类号
TH161
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犃犗犛201434.0522001
犇狑犲犾犾犜犻犿犲犃犾
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1
,
2
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犼
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2
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犵
犅犻狀狕犺犻
2
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犵
1
,
2
犣犺犲狀
犵
犔犻
犵
狅狀
犵
2
犣犺犪狀
犵
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犼
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2
1
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,
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,
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2
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,
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犵
(
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),
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犵
狅狉犻狋犺犿
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(
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狆
犪犮犲犅犪狉狕犻犾犪犻犪狀犱犅狅狉狑犲犻狀
)
犪狀犱犪犱犪
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狋犻狏犲犜犻犽犺狅狀狅狏狉犲
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犾犻犮犪狋犻狅狀.犕狅狉犲狅狏犲狉
,
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犎犪狀狊狅狀犿犲狋犺狅犱
,
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狉犪狋犲犻狊犿狌犮犺犳犪狊狋犲狉狋犺犪狀狋犺犲犾犪狋狋犲狉.犜犺犲犲狓犪犿
狆
犾犲犮犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳
Φ
600 犿犿犮犻狉犮犾犲
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狉犲狊犲狀狋狊狋犺犪狋狋犺犲狏犪犾狌犲狅犳
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犲犪犽狏犪犾犾犲
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(
犘犞
)
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(
犚犕犛
)
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λ
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犮狅狀狏犲狉
犵
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λ
(
λ
=632.8 狀犿
)
狑犻狋犺狋犺犲犮犲狀狋犲狉犪狀犱犳狌犾犾犪
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,
狋犺犲犪犾
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狅狉犻狋犺犿犻狀狋犺犻狊
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犲狑犺犻犾犲
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狔
犪狀犱犽犲犲
狆
犻狀
犵
狋犺犲狊狅犾狌狋犻狅狀犪犮犮狌狉犪狋犲犪狀犱狊狋犪犫犾犲犳犪狊狋.犜犺犲狉犲狊狌犾狋
狆
狉狅狏犻犱犲狊
狊狌
狆狆
狅狉狋狋狅狋犺犲犪
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狋犻犮犪犾犲犾犲犿犲狀狋.
犓犲
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狑狅狉犱狊
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狋犻犮犪犾犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀
;
犱狑犲犾犾狋犻犿犲
;
犿犪狋狉犻狓犿狌犾狋犻
狆
犾犻犮犪狋犻狅狀
;
犳狌犾犾犪
狆
犲狉狋狌狉犲犮狅狀狏犲狉
犵
犲狀犮犲
;
犿犪
犵
狀犲狋狅狉犺犲狅犾狅
犵
犻犮犪犾犳犻狀犻狊犺犻狀
犵
犗犆犐犛犮狅犱犲狊
220.4610
;
220.5450
;
220.4840
收稿日期:
20130918
;收到修改稿日期:
20131113
基金项目:国家自然科学基金(
61036015
)
作者简介:李龙响(
1987
—),男,博士研究生,主要从事光学磁流变加工、检测方面的研究。
Email
:
leellxhit
@
126.com
导师简介:张学军(
1968
—),男,研究员,博士生导师,主要从事大口径光学加工、检测方面的研究。
Email
:
zx
j
@
ciom
p
.ac.cn
1
引
言
磁流变抛光(
MRF
)是 一 种 高 效 确 定 性 的 光 学
加工工艺
[
1
]
,具有 去除函数 稳 定、下表面破 坏 层 小、
边缘效应小,无复印效应、加工精度高及修形能力强
05220011