高性能C-Band薄膜体声波FBAR滤波器设计与优化

本文主要探讨了一种基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的高性能C-Band带通滤波器的设计技术。论文由张智欣、逯遥、庞慰、张代化和张浩等人合作完成，他们的研究得到了极高频率微机电系统（MEMS）体波谐振器质量传感器项目的资助（项目编号20100032120056）。张智欣博士专注于射频MEMS领域，而张浩教授则作为通讯联系人，展示了他们在天津大学精密仪器与光电子工程学院的深厚背景。 文章的核心内容聚焦于提出了一种创新的设计方法，用于构建在C-Band频段具有高效率的滤波器。该滤波器的关键特性包括通带中心频率为5.2GHz，插入损耗小于2.0分贝，显示出极高的信号传递性能。此外，设计结果与三维电磁仿真的预测高度一致，证明了设计的准确性。 在滤波器性能的优化方面，作者特别介绍了通过在并联谐振支路间添加电容，从而调整传输零点的方法，有效地提升了带外抑制能力。这种方法显著增强了FBAR滤波器在满足严格的带外抑制标准时的灵活性，使得设计工程师能够更精确地控制信号衰减，对于信号干扰的隔离和信号质量的保证具有重要意义。 整篇文章的关键词涵盖了射频MEMS技术、C-Band高频应用、薄膜体声波谐振器以及射频带通滤波器的设计与优化，这些关键概念构成了研究的核心焦点。该研究成果不仅对无线通信、雷达系统和无线通信设备等领域有着实际应用价值，也推动了射频微电子技术的发展。