WAT测试详解:过程监控与质量保证的关键系统
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更新于2024-08-02
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WAT测试介绍
WAT测试系统是一个专注于晶圆良率监控的专门的电气测试系统,它在集成电路制造(FAB)中的重要性不言而喻。这个非生产性活动主要用于检查和确保工艺过程的品质,通过对器件特性(如电阻、电容、互连、连续性、间距、绝缘和泄漏)的精确测量。WAT作为晶圆厂质量保证的关键环节,其特点包括直流力测量的自动化,高通量,高精度以及大规模样本取样能力。
实施WAT的主要目标有五个方面:
1. 监控工艺窗口:通过测试来确保工艺参数处于最优范围,以维持稳定的生产性能。
2. 检查设计规则:验证晶圆是否符合设计规范,防止潜在的设计缺陷进入后续生产流程。
3. 控制过程参数:利用统计过程控制(SPC),实时调整和优化工艺过程参数。
4. 调试工艺错误:通过测试结果识别和定位可能的问题源头,帮助工程师进行问题解决。
5. 可靠性评估:通过对组件性能的长期测试,提供关于设备可靠性的数据支持。
WAT测试系统的构成涉及多个关键要素:
- 人力资源:包括工程师负责编程和设备操作,以及操作员执行日常测试任务,通常实行4班12小时工作制。
- 供应商:与Agilent、Hermes-Prober等知名厂商合作,提供测试设备和技术支持。
- 投资:WAT系统的购置和维护需要一定的资金投入,包括硬件(如自动测试机和探针卡)、软件(如UNIX操作系统和数据库系统)。
- 物料:测试所需的晶圆材料和配件是必不可少的。
- 设施:WAT测试需要专门的实验室环境,确保测试条件稳定且无干扰。
- 机器:现代化的测试设备如START-Probecard和HP-4156 Hermes-Prober等,用于执行复杂测试程序。
- 容量:对于新生产线,如8英寸晶圆的每批次可以处理40,000片晶圆,显示出其在大规模生产中的高效运作。
WAT对于新晶圆厂的引入(如8英寸工艺,每批处理40,000片)来说,是必不可少的,标志着一个重要的里程碑,它不仅代表了工艺的进步,也体现了质量控制体系的升级和完善。通过实施WAT,晶圆厂能够确保产品质量的一致性和可靠性,为电路设计提供可靠的设备模型,并为下一代产品开发打下坚实的基础。
2012-07-27 上传
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mountaindog
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