深圳大学微纳光电子技术研究所科研成果

“科研项目-微纳光电子研究进展” 微纳光电子技术是当前科技领域的热门研究方向，它融合了电子学、光学、材料科学以及微纳制造技术，对光电子器件的小型化、高效化有着重大贡献。这个领域的发展推动了新一代信息技术的进步，并催生了新的产业链。深圳大学微纳光电子技术研究所在此领域进行了多项研究项目，由徐平、张旭琳和王冰等专家领导。 1. 微纳光学器件：这些项目涉及到了微光学元件的集成，如无透镜平面集成微光学相关器，旨在消除传统光学系统的像差，提高系统的性能。例如，微扫描成像系统利用微光学元件实现了高速、无像差的扫描，而折/衍混合透镜的设计则能进一步优化成像质量。 2. 硅基光电器件：研究涵盖了CMOS图像传感器、手机摄像头和数字单反相机等应用，这些都依赖于微纳技术来提升光电器件的灵敏度和分辨率。通过微纳制造技术，可以实现更小、更高效的光电器件，满足现代电子设备对小型化和高性能的需求。 3. 微纳材料：王冰研究员专注于SnO2/Sn同轴纳米电缆的研究，这些材料因其独特的结构和性能，例如氢敏性能，被广泛应用于气体传感器。此外，ZnO基纳米异质结构的研究则聚焦于优化紫外LED和LD器件的性能，这为提高光电器件的效率和稳定性提供了新的解决方案。 4. 二元光学元件：徐平教授团队在二元光学元件的研究中取得了突破，他们首次提出了深蚀刻二元光学元件的衍射效率与制作误差的解析表达式，并开发了相应的误差模拟软件。此外，他们还研究了深蚀刻二元光学元件的独特性质，如焦距缩短效应、高相对孔径、高能量密度和高深宽比，这些特性使得二元光学元件在微细加工、准分子激光曝光等领域展现出优异的应用潜力。 这些科研项目展示了微纳光电子技术在理论研究和实际应用上的重要进展，为未来的微光学元件设计、微电子器件优化以及新材料的开发奠定了坚实的基础。通过深入研究和不断创新，微纳光电子技术将持续推动科技进步，改变我们生活中的各种光电子应用。