Silvaco TCAD实战：ATHENA与ATLAS二维仿真解析

"Silvaco TCAD是一款广泛应用于半导体器件和集成电路研究、开发、测试和生产中的计算机仿真软件。该软件包包括二维工艺仿真器ATHENA、二维器件仿真器ATLAS，以及集成环境DeckBuild和可视化工具Tonyplot。" 在半导体工艺仿真中，ATHENA是一个重要的工具，它能够模拟复杂的半导体制造工艺过程。例如，第二章提到了二维工艺仿真，其中涉及到的具体工艺步骤包括反应和边界运动在硅化物/金属和硅化物/硅接口上，以及各种不同的工艺类型如适应性网格（athena_adaptmesh）、高级扩散（athena_advanced_diffusion）、校准（athena_calibration）等。这些工艺类型展示了ATHENA的广泛适用性，用户可以通过实例学习和掌握各种工艺流程。 在DeckBuild中，用户可以访问ATHENA的示例库，这些示例按照工艺类型分类，并且每个例子都有简短的说明。通过Example Loader，用户可以加载并查看每个工艺实例的详细语句，帮助理解工艺仿真的组织结构。工艺仿真的流程通常包括：先建立衬底网格，然后初始化衬底，定义其材料属性、掺杂浓度或晶体方向；接着是工艺步骤，如沉积、光刻、氧化、刻蚀和扩散等；每一步都有对应的模型和参数设置；最后，通过工艺步骤后，可以提取结果，如结深、材料厚度和浓度分布，同时，可以使用结构操作功能进行结构的导入、旋转、镜像和保存。Tonyplot则用于展示和分析仿真结果。 Sivaco TCAD的使用有助于缩短半导体产品的开发周期，通过计算机仿真，研究人员可以在实际制造前预测和优化器件性能，降低了研发成本。然而，尽管TCAD软件广泛应用，相关的学习资料相对较少，本书旨在为初学者提供一个入门级的指导，详细介绍了ATHENA和ATLAS的使用，以及DeckBuild和Tonyplot等工具的操作，帮助读者快速掌握半导体工艺和器件仿真的基础知识与实用技巧。