第 卷 第 期
年 月
人 工 晶 体 学 报
In 原子在 GaAs(001)表面的成核与扩散研究
王 一
,
,丁 召
,,
,魏节敏
,杨 晨
,
,罗子江
,
,王继红
,郭 祥
,,
贵州大学大数据与信息工程院 贵阳 教育部半导体功率器件可靠性工程中心 贵阳
贵州省微纳电子与软件技术重点实验室贵阳 贵州财经大学信息学院 贵阳
摘要:近年来半导体量子点特别是 量子点的基本物理性质和潜在应用得到了广泛研究 许多研究者利用
量子点结构的改变以调制其光电特性 本文采用液滴外延法在 表面沉积了不同沉积量的
以研究 的成核机制和表面扩散 实验发现随着 沉积量的增加液滴尺寸 包括直径高度 明显增大
不仅如此在相同的衬底温度下沉积量越大液滴密度越大 利用经典成核理论计算了 表面 液滴形
成的临界厚度为 计算的结果与已报道的实验一致 从 原子在表面的迁移和扩散以及衬底中 和液滴
中的 之间的原子互混原理解释了 液滴形成和形貌演化的机理 实验中得到的 液滴临界厚度以及 液滴在
上成核机理可以为制备 量子点提供实验指导
关键词: 量子点 沉积量液滴外延临界厚度成核机理光电特性
中图分类号: 文献标识码: 文章编号:()
Nucleation and Diffusion of In Atom on GaAs(001) Surface
WANG Yi
DING Zhao
WEI Jiemin
YANG Chen
LUO Zijiang
WANG Jihong
GUO Xiang
Abstract:
Key words:
基金项目:国家自然科学基金贵州省科学技术基金黔科合教育部半导体功率器件可靠性研究中心
开放项目
作者简介:王 一男贵州省人高级实验师
通讯作者:郭 祥博士副教授
引 言
近年来半导体量子点的基本物理性质和潜在应用得到了广泛的研究
量子点的结构特征 包
括尺寸形状 和 密 度 将 显 著 影 响 其 光 学 和 电 学 性 质
目 前 量子 点 的 制 备 主 要 采 用