微电子机械系统工程入门

《微电子机械系统工程入门》第二版是纳迪姆·马卢夫（Nadim Maluf）和柯特·威廉姆斯（Kirt Williams）合著的一本专业书籍，它深入浅出地介绍了微电子机械系统（MEMS）领域的基础知识和技术。该书作为Artech House的微电子机械系统系列的一部分，旨在为读者提供一个全面而系统的了解微电子机械系统工程的平台。 本书涵盖了微电子机械系统的基本原理，包括这些系统的定义、设计方法、制造过程以及在各种应用中的关键角色，如传感器、执行器、生物医学设备、通信和导航系统等。作者通过丰富的实例和理论阐述，帮助读者理解微电子技术与机械结构相结合的复杂性，以及如何利用这些系统来创造微型化、高精度和高度集成的解决方案。 在第二版中，作者可能对先前版本进行了更新，补充了最新的研究成果和技术发展，例如纳米技术和生物兼容性MEMS的进步。此外，书中可能还包含了关于材料科学、集成电路制造技术、表面处理方法、驱动电路设计等内容，这些都是实现高性能MEMS系统的关键要素。 此书不仅适合在校研究生和工程师进行学习，也是研究者和工程师进行专业进阶和研究的宝贵参考资料。书后的附录和参考文献列表为读者进一步探索该领域提供了丰富的资源。同时，版权信息表明，这本书的印刷和装订均在美国完成，并强调了所有权利的保留，禁止任何形式的复制或利用，包括但不限于影印、录音和电子传播，体现了对知识产权的尊重。 《微电子机械系统工程入门》第二版是一本集理论与实践于一体的权威指南，对于理解和开发当今这个快速发展的科技领域具有重要意义。无论是初学者还是专业人士，都能从中收获有价值的知识和洞见。