HF-CVD工艺制备的SnO2-CNT复合薄膜气体传感器

需积分: 1 1 下载量 177 浏览量 更新于2024-09-15 收藏 2.03MB PDF 举报
该资源是一篇发表在"Sensors and Actuators B: Chemical"期刊上的研究文章,主题涉及基于锡氧化物-碳纳米管复合薄膜的室温气体传感器。作者包括Frank Mendoza、Dionne M. Hernandez、Vladimir Makarova等人,来自美国波多黎各大学的功能纳米材料研究所、物理系和化学系。 文章详细描述了通过热丝化学气相沉积(HF-CVD)工艺制备的SnO2-CNT复合薄膜传感器的制造过程。这种传感器利用锡氧化物与碳纳米管的组合,旨在提高对气体的敏感性和响应性能。锡氧化物(SnO2)通常以其优异的气体传感特性而被选用,而碳纳米管(CNTs)则因其高比表面积和优异的导电性,能增强复合材料的传感性能。 文章的历史信息显示,该文于2012年12月提交,2013年8月经过修订后接受,并在同年9月在线发布。关键词包括HF-CVD过程、气体传感器、碳纳米材料,暗示了研究的核心内容。 文章的abstract部分没有提供完整的信息,但可以推测文章可能会探讨以下知识点: 1. **HF-CVD技术**:这是一种用于合成纳米材料的常见方法,通过高温条件下金属丝的蒸发来诱导化学反应,生成所需的薄膜材料。 2. **SnO2-CNT复合材料**:锡氧化物和碳纳米管的复合结构可以改善传统SnO2传感器的性能,例如增加灵敏度,降低工作温度,以及提升对特定气体的响应速度。 3. **气体传感器原理**:文章可能详细解释了SnO2-CNT传感器如何通过检测气体分子与材料表面的相互作用来改变其电导率,从而实现气体探测。 4. **传感器性能测试**:实验部分可能涉及在不同气体环境下对传感器的性能进行评估,包括响应时间、恢复时间、选择性和稳定性等关键参数。 5. **应用前景**:鉴于其在室温下的工作能力,这种传感器可能适用于工业监控、环境监测、安全防护等多种实际应用场景。 这篇研究文章深入探讨了利用HF-CVD法制备的SnO2-CNT复合薄膜在气体传感领域的应用,是光纤传感领域的一个具体实例,展示了纳米材料在提高传感器性能方面的潜力。