消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪技术

"消除光强调制影响的双波长正弦相位调制干涉仪" 本文介绍了如何在双波长半导体激光（LD）正弦相位调制（SPM）干涉仪中消除光强调制对测量精度的影响。传统的双波长LD SPM干涉仪在通过注入电流调制半导体激光器（LD）波长的同时，会不可避免地引起光源输出光强的变化，导致测量误差。作者提出了一种创新的双波长LD SPM干涉仪设计，通过特殊的数据处理方法，能够提取出与干涉信号相位相关的线性方程组。 在这一新方法中，首先获取受到光强调制影响的干涉信号，然后通过对这些信号进行分析，可以解算出一组线性方程。通过求解这组方程，可以精确计算出干涉信号的相位，从而有效消除了光强调制带来的测量误差。这种方法显著提高了测量精度，将原本6微米的误差降低到了1微米。 此外，该干涉仪还结合了波长扫描技术，实现了对绝对距离的高精度测量。在60到280毫米的测量范围内，其测量结果的重复性达到了1微米。这种改进对于需要高精度测量的应用，如精密光学、航空航天、半导体制造等领域具有重要意义。 关键词的选取涵盖了测量技术、半导体激光器、双波长干涉原理、正弦相位调制以及光强调制等核心概念。文章的发表不仅展示了科研人员在提高光学测量精度方面的努力，也为相关领域的研究提供了新的思路和技术手段。 通过这种方法，研究人员成功地降低了由光源光强调制引起的系统误差，提升了双波长干涉仪的性能，为实际应用中的高精度测量提供了更为可靠的基础。这项工作不仅在理论上有一定的贡献，而且对实际的工程应用也具有指导价值，有望推动光学测量技术的进一步发展。