
CrCN 涂层在不同沉积温度下的摩擦学性能研究
王春婷
1,3
, 叶育伟
2,3
, 胡建民
1
, 陈颢
2
, 王永欣
3b
, 李金龙
3a
(1. 哈尔滨师范大学光电带隙材料教育部重点实验室,哈尔滨 150025;2. 江西理工大学材料科学与工程学院,江西 赣州 341000;
3.中国科学院,a.宁波材料技术与工程研究所;b.海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江 宁波 315201)
摘要:利用多弧离子镀技术,在乙炔和氮气环境下,设定不同沉积温度(150 ℃、250 ℃、 350 ℃、
450 ℃),在 316L 不锈钢及单晶硅片上沉积 CrCN 涂层,通过 XRD、XPS、SEM、纳米压痕仪和 UMT-3
多功能摩擦磨损试验机等涂层的微观结构、力学性能和摩擦学性能进行表征.结果表明:随着沉积温度
的升高,CrCN涂层的硬度和模量呈现出递增的趋势,在沉积温度为 450 ℃时达到最高,分别为24GPa
和 354GPa;摩擦系数和磨损率则呈现出先递减后递增的趋势,在沉积温度为 350 ℃时达到最低,摩擦
系数在大气和水环境下分别为 0.38 和 0.23,磨损率在大气和水环境下则分别为 1.7171×10
-6
mm
3
/N·m
和 9.5297×10
-7
mm
3
/N·m.同时,涂层在水环境中的摩擦系数和磨损率均低于大气环境中,说明水分子
在摩擦过程中起到了较好的润滑作用.
关键词: 沉积温度;CrCN 涂层;硬度;摩擦系数;磨损率
中图分类号:TG142.7;TH117.3 文献标志码:A
TribologicalperformancesofCrCNcoatingsunderdifferent
depositiontemperatures
WANGChunting
1,3
,YEYuwei
2,3
,HUJianmin
1
,CHENHao
1
,WANGYongxin
3b
,LIJinlong
3a
(1.KeyLaboratoryforPhotonicandElectronicBandgapMaterials,MinistryofEducation,SchoolofPhysicsandElectronicEngineering,
HarbinNormalUniversity,Harbin150025,China;2.SchoolofMaterialsScienceandEngineering,JiangxiUniversityofScienceandTechnology,
Ganzhou341000,China;3a.NingboInstituteofMaterialTechnology&Engineering;3b.KeyLaboratoryofMarineNewMaterialsandRelated
Technology,ZhejiangKeyLaboratoryofMarineMaterialsandProtectionTechnology,ChineseAcademyofSciences,Ningbo315201,China)
Abstract:CrCNcoatingswithdifferentdepositiontemperatures (150 ℃,250 ℃,350 ℃,450 ℃)aredeposited
on316LstainlesssteelandsinglecrystalsiliconbyMulti-Arcionplatingtechnique.Microstructures,
mechanicalperformanceandtribologicalperformancesinambientairandwateraresystematicallyinvestigated
byXRD,XPS,SEM,nano-indentationandball-on-disctribol-meter.Theresultsshowthatthehardnessand
modulusincreasewiththeincreasingofdepositiontemperatureandreachtheclimaxwithdeposition
temperatureat450 ℃ andthemaximumvalueatabout24Gpaand354Gpa,respectively.Boththefriction
coefficientsandwearratesofCrCNcoatingsinambientairandwatertenttodecreaseafterincreasingfirstand
reachthebottomwithdepositiontemperatureat350 ℃.Thefrictioncoefficientinambientairandwaterare
about0.38and0.23,themaximumvalueofwearrateinambientairandwaterareabout1.7171×10
-6
mm
3
/Nom
and9.5297×10
-7
mm
3
/Nom,respectively.Meanwhile,thefrictioncoefficientsandwearratesofCrCNcoatingsin
waterarelowerthanthatinambientair,whichisattributedtothegoodlubricationofwaterduringthefriction.
Keywords:depositiontemperature;CrCNcoating;hardness;frictioncoefficient;wearrate
收稿日期:2015-01-18
基金项目:国家自然科学基金资助项目(11075043;51202261); ITER 计划专项(2011GB110002);哈尔滨师范大学项目(KGB200914)
作者简介:王春婷(1989- ), 女, 硕士研究生, 主要从事海洋防护材料研究,E-mail: wangchunting@nimte.ac.cn.
通信作者:胡建民(1972- ), 男, 副教授, 主要从事热电材料和太阳能电池研究.E-mail: hujianmin@foxmail.com.
文章编号:1674-9669(2015)02-0042-06
DOI:10.13264/j.cnki.ysjskx.2015.02.008
有色金属科学与工程
第 6 卷第2期
2015 年 4 月
Vol.6,No.2
Apr.2015
Nonferrous MetalsScienceandEngineering