部分相干成像：空间线宽精确确定方法及验证

本文主要探讨了在部分相干成像环境下，空间线宽的精确确定方法。作者杨健、伍树东和王之江针对轴对称光学系统，通过推导得到了在部分相干照明条件下的直边阈值表达式，这对于集成电路线宽测量具有重要意义。他们指出，与完全相干和非相干成像相比，部分相干成像的系统相干性可以通过相干参数R来衡量，当R值较小，意味着较高的相干度。 直边阈值是图像边缘检测的关键参数，它表示对应于图像边缘的像强度值。作者首先回顾了非相干和相干成像中直边阈值的计算方法，如非相干成像的阈值公式Tn和相干成像时的阈值公式Tc。然后，他们针对部分相干照明的特殊情况进行了深入分析，推导出新的直边阈值公式，该公式考虑了照明光强度和成像系统的点扩散函数的影响。 文中还提到，作者假设成像系统为轴对称，并采用Köhler照明方式，这样可以减少非对称带来的定位误差。通过对归一化强度I(∞)的分析，他们将复杂的问题简化为两个积分A和B，进一步计算出直边阈值。实验结果显示，所提出的阈值表达式与数值计算值高度吻合，其精度达到了惊人的0.01微米，这表明该方法在实际应用中的准确性。 总结来说，这篇论文的核心内容是部分相干成像下空间线宽的理论计算以及其实验验证，对于提升集成电路线宽测量的精度和适用性具有重要的科学价值。通过详细的数学推导和数值计算，作者不仅提供了新的阈值确定方法，而且证明了其在实际成像系统中的有效性和可靠性。