红外干涉仪研制与测试技术：高精度非球面检测

"斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究" 本文详细介绍了针对红外非球面透镜检测所研制的斐索式红外干涉仪。该仪器具有120mm的口径，配备有F/1和F/4的标准球面锗透镜，能够有效地评估非球面透镜的表面形状和波像差。为了解决红外光不可见导致的调试难题，该干涉仪创新性地采用了两个红外探测器，分别对应两点进行成像光路的测试，同时结合光栅尺，实时监测标准镜和待测件的位置，确保了测试过程的精确性。 文章中提到的关键技术之一是在线标定方法，通过这种方法，实现了大伸长量移相器的标定，这对于提高干涉仪的测量精度至关重要。实际应用中，利用该干涉仪对红外非球面透镜进行了质量检测，并对系统误差进行了校准。实验结果显示，干涉仪的测量精度表现出色，均方根(RMS)值优于0.01λ，而测量重复性的RMS值更是优于0.002λ，体现了其极高的测量准确性和稳定性。 关键词涉及到的领域包括测量技术、红外干涉原理、双视场设计、非球面光学元件以及光栅尺的应用。这些关键词揭示了该研究在红外光学检测领域的先进性和实用性。红外干涉仪的双视场设计提高了测试效率，而光栅尺的使用则增强了定位精度，对于红外非球面透镜的制造和质量控制具有重要意义。 此外，文章还提到了具体的测试结果，如RMS值，这为后续的光学系统设计和改进提供了重要的参考数据。通过对斐索式红外干涉仪的深入研究，不仅推动了红外光学测量技术的发展，也为相关行业的精密检测提供了有力工具。这项工作展示了科研人员在红外光学测试领域的创新思维和技术实力，对于提升我国在该领域的技术水平和国际竞争力有着积极作用。