4200-SCS半导体特性分析系统:高性能参数测试解决方案
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更新于2024-09-07
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"4200-SCS半导体特性分析系统是一种高级的参数分析仪,专为半导体行业的科研和工业用户设计,提供高灵敏度和精度的测量。该系统采用模块化、可配置和可升级的架构,可以根据当前和未来的需求进行定制。系统支持多个直流源-测量单元(SMU),能测量微小到大电流和电压,并且配备了4210-CVU模块进行交流阻抗测试以及4225-PMU超快I-V模块进行脉冲和瞬态测量。吉时利交互式测试环境(KITE)提供图形化界面,包含多种预设测试库,简化了对各种半导体器件的特性分析。此外,系统后板包含计算机接口和仪器测量接口,如以太网、RS-232、USB、GPIB等,便于连接和扩展。每个SMU通道配备独立的22位A/D转换器,确保测量精度,高功率SMU可以直接接入PCI总线插槽。"
详细说明:
1. **4200-SCS系统特性**: 这个系统是一个全面的解决方案,适用于器件、材料和半导体工艺参数的分析。它结合了高灵敏度和精度的测量能力,采用Windows操作系统,并提供交互式的测试环境。
2. **模块化设计**: 4200-SCS系统可根据需求配置,支持扩展,可以满足从基本的直流I-V测试到复杂的脉冲I-V测试的需求。
3. **测量范围**: 系统支持的电流范围从0.1fA到1A,电压范围从1μV到210V。此外,4210-CVU模块支持1KHz到10MHz的交流阻抗测试,电容测量范围从极微小的aF级到μF级。
4. **4225-PMU模块**: 这个可选模块用于执行超快的脉冲和瞬态测量,非常适合研究快速动态过程的半导体特性。
5. **吉时利交互式测试环境(KITE)**: KITE提供了一个无需编程的图形用户界面,内含456种标准测试库,覆盖MOSFET、BJT、二极管、电阻器、电容器、太阳能电池和新型存储器等多种半导体设备。
6. **后板接口**: 后板接口包括计算机接口(如以太网、RS-232、并行打印机接口、显示器接口、USB)和仪器测量接口(如PCI插槽、GPIB接口)。这些接口使得系统易于集成和扩展,减少了安装和调试时间。
7. **测量精度**: 每个SMU通道配备独立的22位A/D转换器,保证了高精度的测量结果。高功率SMU可以直接插入PCI总线插槽,无需额外硬件扩展。
8. **系统集成**: 通过将计算机部分和仪器测量部分整合在一个整体中,4200-SCS系统降低了用户的设置复杂性,提升了工作效率。
这个系统是半导体行业进行深入研究和质量控制的理想工具,其灵活性和精确性使其在半导体特性分析领域中具有显著优势。
2021-08-29 上传
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