ADI增强型MEMS加速度计：关键参数与选型指南

本文主要探讨了基于Analog Devices (ADI)的微机电系统(MEMS)加速度计的关键参数和特性，以及它们在各种应用场景中的重要作用。加速度计作为重要的传感器，能够测量加速度、倾斜、振动或冲击，广泛应用于可穿戴健身设备、工业平台稳定系统、结构健康监控(SHM)、资产健康监控(AHM)、生命体征监测(VSM)以及物联网无线传感器网络等领域。 文章首先强调了市场上的加速度计器件种类繁多，性能和成本差异明显，选择合适的器件对于实际应用至关重要。它分为两部分，第一部分着重于理解加速度计的关键参数，如偏置稳定度、失调温漂、低噪声、可重复性、振动校正和跨轴灵敏度，以及这些参数如何影响在倾斜检测中的精度，尤其是在有振动环境中的挑战。作者指出，在动态环境中，特别是0.1°的倾斜精度要求极高，而在静态环境中，由于振动对数据的影响较小，测量更为准确。 图1展示了ADI公司提供的MEMS加速度计在不同应用领域的分布，以及这些传感器在性能指标和集成智能水平上的分类。新一代基于增强型MEMS结构和信号处理的加速度计，采用世界一流的封装技术，不仅在稳定性和噪声控制方面达到专业级性能，而且功耗更低，这是本文的核心关注点之一。 文章后续还会深入分析这些新一代加速度计的特性和优势，比如它们如何通过优化设计提高在恶劣条件下的工作能力，以及如何通过智能信号处理技术来提升数据处理精度。此外，温度系数失调、迟滞等影响因素也将被逐一剖析，以帮助读者更好地理解如何根据具体应用需求选择最适合的加速度计。 这篇文章为读者提供了深入了解基于ADI的MEMS加速度计的基础知识，包括其关键参数、适用场景和性能比较，旨在帮助用户做出明智的选择，并优化设备在实际工作中的表现。