主动透镜在光刻物镜中的热像差补偿策略

本文主要探讨了在高精度光刻投影物镜中采用主动光学技术来解决热像差问题。光刻物镜在运行时会吸收激光能量，导致热像差现象，尤其在离轴照明模式（如偶极照明）下，这种热像散现象尤为明显且随着时间变化。传统被动光学方法对于这类动态且随时间变化的像差处理能力有限。 作者提出了一种创新的解决方案，即在折射式光刻投影物镜系统中引入主动透镜，通过力促动器的作用使得透镜能够变形，从而补偿初阶热像散。文章采用有限元分析技术深入研究了简化折射平板在受到促动力作用下的变形特性及其像差影响。这种方法依赖于精确的几何光学理论进行近似论证，以确保补偿方案的可行性。 研究重点考察了促动器的分布、促动力的大小、促动器与平板接触区域的尺寸，以及支撑结构对平板变形的综合影响。结果显示，在经过优化设计的支撑结构下，主动平板能够有效地抵消系统中的初阶热像散和初阶四叶像差，这对于提高光刻系统的成像质量和稳定性具有重要意义。 关键词包括光学设计、主动光学、光刻物镜、热像差补偿和像散控制。本文的研究成果为光刻系统中热像差的补偿提供了一个创新的工程实践策略，对于提升光刻技术的精度和稳定性具有实际价值。这项工作不仅推动了光学设计领域的理论发展，也为相关设备制造商提供了改进现有技术的新途径。