101帧Zygo相位移干涉测量算法：精度提升与极限挑战

Zygo 101步移相干涉测量算法（Peter de Groot, 1997年）是一项针对相移干涉测量法（Phase Shifting Interferometry, PSI）的创新技术，该方法在干涉条纹间通过大量的CCD图像帧插值来获取高精度的表面轮廓信息。早期的PSI系统通常只使用3或4帧，但随着技术的发展，帧数已扩展至5、7甚至15帧，以提升测量精度和复杂度。然而，这并未达到算法设计的极限。 de Groot的文章深入探讨了当时PSI技术的发展趋势，特别是对于处理大量数据和提高算法抗干扰能力的需求。他提出的101帧算法旨在解决计算上的挑战，增强对误差源的抵抗力，从而突破传统意义上的帧数限制。这一创新算法表明，只要重新定义PSI的应用范围，实际上可以克服对帧数的固有限制，使这项技术具有更大的灵活性。 值得注意的是，随着算法的长度增加，相应的数学技术也在不断进化，比如复杂的插值方法、信号处理和数字滤波器等，这些都是提升测量精度的关键。文章还提到了Zygo公司在算法开发中的贡献，他们在保持高分辨率的同时，也注重算法的效率和实用性。 Zygo 101步移相干涉测量算法不仅展示了PSI技术在高精度测量领域的进步，而且体现了如何通过技术创新来应对不断提高的精度需求。它为未来的干涉仪设计提供了新的思路，尤其是在面对大型数据集和复杂环境时，如何实现高效且精确的波前测量。这项技术的发展预示着干涉测量领域将继续向着更高的精度和自动化方向发展。