"SECS E84通讯流程是半导体制造工厂中自动搬运系统(AMHS)中的一个重要通信协议,用于设备与台车之间的同步。它基于SEMI标准,相较于E23,E84增加了连续和同时HandoffSequence,新增了HO_AVBL和ES信号,并对Timer进行了规定。本书主要面向进行AMHS装置与半导体制造装置接口设计和管理的人员,详细介绍了E84协议的各个方面。"
在半导体制造行业中,随着晶圆尺寸增大和工艺复杂化,采用自动搬运系统(AMHS)变得越来越普遍。AMHS中,设备如装载/卸载站通过SEMI定义的通信协议与台车(OHV)进行交互,确保加载和卸载操作的同步。SEMI规范中,E23最初被用来定义光耦合I/O的通信,但随着技术的发展,1999年E84被推出,它在E23的基础上增强了功能。
E84与E23的主要区别在于以下几个方面:
1. 连续HandoffSequence:E84引入了连续的交接序列,允许设备在不中断通信的情况下连续处理多个晶圆。
2. 同时HandoffSequence:E84支持同时的交接序列,这意味着可以处理多个并发操作,提高了生产效率。
3. HO_AVBL信号和ES信号的添加:这两个新的信号用于增强设备间的协调和错误检测,提高了系统的可靠性和安全性。
4. Timer的规定:E84对计时器进行了详细规定,以控制操作的时序和超时条件,防止由于通信延迟导致的问题。
书中还涵盖了以下主题:
- 限制:讨论了E84协议实施可能遇到的技术和安全限制。
- 模块构成:详细解释了E84通信涉及的硬件和软件组件。
- 用语说明:清晰定义了协议中使用的专业术语。
- 控制信号种类:列出并解释了所有关键的控制信号及其作用。
- Interlock Timeout:阐述了互锁超时机制,这是防止设备异常状态持续的关键。
- 通信程序:详细描述了从装载/卸载到异常处理的整个通信流程。
- 异常检测:包括在操作开始前、过程中以及之后可能出现的异常情况及其处理方法。
- GO信号至OFF变化的响应:探讨了当主控信号GO变为OFF时系统如何响应。
- 异常恢复:介绍了如何恢复系统到正常运行状态。
- 注意事项:提供了实施E84协议时需要遵循的重要提示。
- 连接器和信号分配:列出了连接器上的物理连接以及每个信号的作用。
- 电路图和Sensor Unit尺寸:提供了相关的电路设计和传感器单元的尺寸信息。
本书对于理解E84通信流程,以及如何在AMHS和半导体生产设备之间实现有效通信至关重要,特别是对于那些从事相关设计和管理工作的工程师而言。