半导体厂务监控系统FMCS详解及SCADA应用

"厂务监控管理方案" 厂务监控系统（FMCS，Facility Monitoring Control System）是一种用于半导体工厂的监控解决方案，旨在监测和控制可能对生产过程产生危害或影响系统数据的因素。它提供了友好的用户界面，基于Windows操作系统，允许用户通过简单的鼠标和键盘操作进行监控和控制。FMCS系统具有多台计算机之间的监视、控制能力，可以共享资源，并实现相互备份，确保了系统的安全性和可扩展性。 系统架构分为三个层次： 1. 设备资料收集层：这是最底层，包括传感器和电动阀等设备单元，它们通过工业控制网络将数据上传到第二层或接收来自第二层的控制信号，如PLC（可编程逻辑控制器）。 2. 网络通讯层：作为FMCS的核心通信和控制层，PLC系统控制器和DMC（专用数据监控计算机）通过RS-485、RS-422、光纤和以太网进行通信，实现与服务器的信息交换。PLC负责收集下层设备的数据并执行控制指令，同时通过以太网将系统状态发送给上层的SCADA系统。 3. 人机界面层（SCADA）：这一层是用户与系统交互的主要界面，包括电脑通讯网络、数据存储服务器和工作站，如SCADA计算机。SCADA系统用于显示和记录来自下层的数据，提供实时监控和报警功能，以及历史数据分析，以支持问题的即时处理和后期故障排查。 FMCS在智能制造中扮演着重要角色，特别是在疫情时期，例如口罩的上游无纺布企业的远程控制和维护。通过这样的系统，企业能够实现远程监控和管理，降低现场人员的需求，提高生产效率，同时确保设备的稳定运行和产品质量。 FMCS是半导体制造中不可或缺的组成部分，它通过三层结构实现高效、安全的厂务监控，利用SCADA系统提供直观的监控界面，确保生产过程的连续性和问题响应的及时性。随着技术的发展，FMCS的应用将进一步拓展，以适应更复杂、更智能的制造环境。