大型中阶梯光栅衍射效率测量系统设计与标定

"大型埃塞勒衍射效率测量仪的设计与集成" 本文主要探讨了一种用于测量大型中阶梯光栅衍射效率的专用测试仪器的设计与集成。衍射效率是衡量光栅性能的关键指标，它直接影响到光栅在光谱分析、天文观测、激光技术等领域的应用效果。因此，对于光栅制造者和使用者来说，准确测量和评估衍射效率至关重要。 该研究针对国内首台500mm×400mm中阶梯光栅刻划机的开发，设计了一套创新的衍射效率测试系统。该系统基于串联色散相减原理，改进了传统的C-T结构的测量单色仪光路。通过优化前置单色仪和测量单色仪的光路，并且设计了多维调整台以适应不同尺寸和规格的光栅，确保了光栅在测试过程中的精确定位。 文章提出了一种N.A.（数值孔径）为0.1的三光栅扫描前置单色仪的标定方法，该方法能够确保在190~1100nm的宽光谱范围内，波长输出精度达到±2nm，并且程控狭缝的开启精度可控制在0.002mm。此外，还详细介绍了测试仪器的系统误差修正策略，使得衍射效率的测量精度提升至2%，重复精度达到0.5%。 经过标定和优化后，这套测试设备能够满足对500mm×400mm大尺寸中阶梯光栅的衍射效率进行定量检测的需求，能够在工作谱段内实现衍射效率与波长连续曲线的自动化测量。这为提高光栅设计与制造工艺提供了有力的测试支持，有助于推动我国光栅制造技术的进步。 关键词：中阶梯光栅；衍射效率；测试仪器；设计与标校 分类号：TH741．4 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4035 这篇研究论文详细展示了大型埃塞勒衍射效率测量仪的开发过程，包括理论基础、光路设计、误差修正及实际应用效果，对于理解和提升光栅性能测试技术具有重要意义。