非球面反射镜面检测：PMD技术实验与高频误差分析

"基于PMD的反射镜面检测实验分析" 本文主要探讨了一种使用相位测量偏折术(PMD, Phase Measuring Deflectometry)对非球面反射镜进行形貌检测的方法，并深入分析了实验检测结果中的中高频误差。在实验过程中，通过计算机生成正弦性条纹图案，并在薄膜场效应晶体管(TFT)显示屏上显示。随后，摄像机通过被测的非球面反射镜观察和拍摄这些条纹图。 利用相移技术和相位展开技术，研究人员能够计算出相位分布。相位信息是追踪光线的关键，通过结合反射定律，可以得到镜面的形状梯度分布。进一步地，通过数值积分，他们重建了非球面反射镜的面形分布。最后，借助泽尼克多项式(Zernike polynomial)拟合，对检测结果中的中高频误差进行了系统性的分析和研究。 这一方法的应用展示了对非球面反射镜形貌高精度检测的可能性，尤其是在理解和优化中高频误差方面。中高频误差通常与制造过程中的微小缺陷或不规则性相关，对光学系统的性能有显著影响。通过深入分析这些误差，可以指导改进制造工艺，提升非球面反射镜的质量。 关键词：测量、面形测量、非球面镜、条纹分析 该研究不仅提供了对非球面反射镜形貌检测的理论基础，还为实际工程应用提供了实践经验，对于光学领域的研究者和工程师来说，这一方法具有重要的参考价值。通过这种方法，可以有效地提高非球面光学元件的制造精度，从而优化光学系统的设计和性能。