计算全息图提升非球面检测精度至3.9nm：高效误差校正方法

本文主要探讨了在高精度非球面检测领域中，计算全息图（Computer-generated Hologram，CGH）作为一种零位补偿器的应用及其带来的挑战。计算全息图是一种利用干涉原理记录和再现物体三维信息的技术，特别适用于非球面表面的测量，因为它们能提供高分辨率的三维信息。 作者首先指出，CGH的设计、编码、加工以及装调过程中的误差会直接影响非球面的检测精度。为了提高检测的准确性，文章提出了一个实际可行的检测流程，包括CGH基底的标定、参考镜的绝对标定和CGH的畸变校正。基底标定确保CGH的稳定性和一致性，参考镜的绝对标定则提供了测量的基准，而畸变校正则针对CGH可能存在的形状偏差进行修正，这些都是提升检测精度的关键步骤。 传统的测量方法如平方根之和（Root Mean Square, RMS）误差合成分析被用来评估整个系统性能。然而，为了验证该方法的精确性，文章还采用了无像差点法（Point Spread Function, PSF）作为另一种独立的测量手段，通过两者结果的对比，得到了更为准确的测量精度数据。实验结果显示，利用计算全息图对非球面进行检测，其精度可以达到3.9纳米（RMS值），这是一个非常高的测量标准，证明了CGH在非球面检测领域的显著优势。 关键词如"测量"、"非球面检测"、"计算全息图"和"绝对标定"突出了文章的核心内容，强调了这种方法在现代光学工程和精密制造中的重要性。通过这样的技术，研究人员能够实现对复杂光学元件的精细控制，对于光学设计和制造有着深远的影响。这篇文章不仅提供了理论上的指导，也为实际应用中如何优化CGH技术以提高非球面检测的精度提供了实用的解决方案。