设计与实现：流动注射型高频石英晶体微天平传感器

"流动注射型石英晶体微天平是一种用于化学传感和免疫传感的精密设备，由梁金星和黄佳在东南大学仪器科学与工程学院设计和制作。这种传感器利用高频石英晶体的固有频率提高其质量灵敏度，通过湿法刻蚀工艺在AT切石英晶片上制作出反台阶式结构。流动注射系统包括蠕动泵、进样器和定制的流通池，确保QCM在液体中的有效应用。文中提到，52MHz时的QCM芯片品质因数Q达到29000，即使在流通池中仍能保持23000以上的Q值，证明流通池设计对芯片性能影响较小。此外，纯水实验中QCM在水中的品质因数Q高达1000，显示出该系统在液相测量中的潜力。" 流动注射型石英晶体微天平（QCM）是一种高度敏感的传感器，主要用于检测和分析溶液中的分子变化。在本研究中，研究人员通过提高QCM的固有频率来增强其化学传感器或免疫传感器的功能。固有频率的提升与石英晶体的厚度有关，通过湿法刻蚀技术，他们成功地在AT切石英晶片上制作出高频QCM，降低了石英片中心区域的厚度，从而实现了高频。这种高频QCM具有较高的品质因数（Q值），表示其在振动过程中能量损失小，能更精确地测量微小的质量变化。 流动注射系统是QCM的重要组成部分，它包括蠕动泵用于控制液体的流动，进样器用于注入待测样品，以及定制的流通池，使QCM能在液体环境中工作。实验结果显示，即使在流通池中，QCM的品质因数仍能保持在一个高水平，这意味着流通池的设计不会显著降低QCM的性能，而且适合用于实际应用。 关键词如“流动注射”强调了这种连续、自动化的样本处理方式，可以提高测量效率和精度。“石英晶体微天平”和“高频”揭示了研究的核心技术，即利用高频QCM进行高灵敏度测量。“湿法腐蚀”是制作高频QCM的关键工艺，而“微型化”则暗示了该技术的微尺度特征，使其适用于各种微纳米级别的分析。 该研究的成果表明，流动注射型石英晶体微天平系统在生物传感、药物分析、环境监测等领域具有广阔的应用前景，特别是在液相测量中，其高Q值和微型化设计提供了高效且精确的检测手段。中图分类号TP212.3将其归类为仪器仪表科学与技术领域，这进一步证实了这项工作的专业性和技术深度。