IH系列立体光刻技术：微结构加工与MEMS应用

IH工艺的发展及应用是一篇探讨了微机电系统（MEMS）领域中一种创新的微加工技术的文章，由孔祥东、张玉林和尹明三位作者，来自山东大学控制学院电子束研究所，发表于2003年。论文的核心内容聚焦于IH系列立体光刻技术，这是一种突破性的技术，能够加工出具有高度深宽比和复杂曲面的微结构，这对于满足MEMS对精密复杂设计的需求至关重要。 IH工艺的优势在于其灵活性，能够方便地制造微可动部件、电子聚合物组合结构以及全聚合物结构，这些都是平面硅工艺和传统立体硅工艺（如LIGA工艺和准LIGA工艺）难以实现的。这些技术的发展，特别是Ikuta教授开发的IH、MassIH、SuperIH、HybridIH和Multi-polymerIH等后续版本，不断推动了MEMS技术的进步，使得三维立体构件的设计和制造成为可能。 然而，论文也指出了IH工艺当前存在的缺陷，尽管它能够解决传统方法的局限性，但具体的技术细节并未详述。这些缺陷可能是关于抗蚀剂的选择、光刻精度、成本效率或工艺流程的限制，它们可能对实际应用产生影响。 总结起来，IH工艺的发展不仅扩展了微结构加工的可能性，也为微电子和微机械系统的发展开辟了新的道路。但任何新技术都伴随着挑战，理解和改进这些工艺的局限性是未来研究和应用的关键。通过这篇论文，读者可以了解到IH系列技术的基础原理、优势与不足，为进一步研究和优化这一领域提供了有价值的信息。