溶液旋涂法制备低温氧化锌薄膜晶体管

“论文研究-溶液加工制备低温氧化锌薄膜晶体管 .pdf” 这篇论文主要研究的是通过溶液加工方法在低温环境下制备氧化锌薄膜晶体管（ZnO TFT）的技术。作者包括史文、兰林锋等人，该研究得到了高等学校博士点专项科研基金的支持。文章发表在中国科技论文在线平台上，其主要贡献在于解决氧化锌薄膜制备过程中的高温问题，以适应柔性衬底的应用。 论文中提到，传统的氧化锌薄膜晶体管制造通常需要较高的热处理温度，这限制了它们在柔性电子设备中的应用，因为高温可能对柔韧基底造成损害。研究团队采用了无碳的Zn(OH)x(NH3)y(2-x)+水溶液作为前驱体，这是一种氨络合物溶液，具有成本低、制备简便的优点。氨-金属络合物的分解活化能较低，因此氢氧化锌能够在180°C的低温下高效分解成氧化锌多晶薄膜，实现了高迁移率（高达0.9 cm²V⁻¹s⁻¹）的氧化锌薄膜。 此外，论文还结合了室温下的阳极氧化铝工艺，使得整个制备流程都与柔性衬底兼容。这种低温解决方案不仅降低了加工成本，还扩大了氧化锌薄膜晶体管在柔性显示、传感器和可穿戴电子设备等领域的应用潜力。 关键词涉及的核心知识点包括： 1. **溶液加工**：这是一种通过溶液旋涂等方法在基底上形成薄膜的技术，适合于大面积、低成本的薄膜制备，特别适用于柔性电子设备。 2. **低温制备**：在180°C或更低温度下进行薄膜晶体管的制造，降低了对设备和基底的要求，特别是对于不能承受高温的柔性材料。 3. **氧化锌薄膜晶体管（ZnO TFT）**：氧化锌作为一种半导体材料，具有良好的透明性和电性能，常用于制作透明导电薄膜和电子器件，如TFT。 4. **氨络合物溶液**：用于制备氧化锌薄膜的前驱体，其分解温度低，能够实现低温制程。 5. **迁移率**：衡量半导体材料中电荷载流子在电场作用下移动速度的指标，高迁移率意味着器件有更快的响应速度。 6. **柔性衬底兼容**：研究的工艺流程适应于柔性材料，允许在不损坏基底的情况下制造电子器件，是柔性电子技术的关键特性。 7. **阳极氧化铝**：一种常见的制备氧化铝薄膜的工艺，常用于隔离层或电容器，此处用于与氧化锌薄膜晶体管的集成。 这些技术突破和创新为未来的柔性电子器件制造提供了新的可能性，特别是在降低成本和提升设备性能方面。