两平板互检迭代算法：高效求解绝对面形检测

"基于迭代算法的两平板互检求解方法" 本文介绍了一种创新的迭代算法，用于解决两平板间的绝对面形检测问题。在光学检测领域，这种基于两平板互检的方法能够提高面形测量的精度和效率。算法的核心在于通过翻转和旋转一块平板，获取四次两两间的测量数据。通过对这些测量结果进行特定的逆操作处理，可以推导出面形之间的关系公式。 在具体实施过程中，首先设定一个初始面形，然后通过迭代方式逐步调整，使得模拟的面形与实际测量结果更加接近。实验结果显示，该算法在50次迭代之内就能达到0.1纳米均方根值的精度，这是一个非常显著的成就，因为这意味着它能提供高分辨率的绝对面形测量。 同时，作者们还深入分析了实验过程中的各种误差来源，包括测量误差、系统误差、模型误差等，并对这些误差进行了定量计算。最终，他们得出总的测量误差为1.417纳米，这为进一步优化算法提供了重要参考。 关键词涵盖测量技术、绝对检测、两平板互检以及迭代算法，表明了该研究的针对性和专业性。这种方法对于需要高精度面形测量的光学系统设计、制造和校准具有重要的应用价值。通过迭代优化，该方法有望在未来的光学检测中发挥更大的作用，推动相关领域的技术进步。