书书书
第
37
卷
第
10
期
中
国
激
光
Vol.37
,
No.10
2010
年
10
月
犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛
犗犮狋狅犫犲狉
,
2010
文章编号:
02587025
(
2010
)
10254307
一种折射式激光高斯光束平顶整形器
尚建力
1
,
2
朱
晓
1
,
2
陈
鹏
1
,
2
朱广志
1
,
2
王
伟
1
,
2
任松青
1
,
2
严
琼
1
,
2
1
华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北 武汉
430074
;
2
激光加工国家工程研究中心,湖北 武汉
( )
430074
摘要
为了将高斯光束整形为平顶的准直激光光束,在 现有 双 非球 面透 镜 整形 器的 基 础上,设 计了 一种 只 使用 一
片非球面透镜的光束整形器
。在理论模型中,提出了更加准确的非球面面形函 数计 算方法。 经过数 值模 拟和光 学
设计软件仿真
,分析了系统与激光光束参数变化对整形 效果 的 影响,表 明这 种新 型 整形 器可 以 使激 光光 束 的平 顶
性得到明显的提高。此整形器避免了传统折射式光束整 形 器的 体积 大、不 易调 节等 弊 端,提 高 了器 件的 可 靠性 和
实用性。
关键词
激光技术;平顶光束;高斯光束;光束整形器;非球面透镜
中图分类号
O435
文献标识码
A
犱狅犻
:
10.3788
/
犆犑犔20103710.2543
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2
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;
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;
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狆
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;
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狆
犺犲狉犻犮犾犲狀狊
收稿日期:
20091111
;收到修改稿日期:
20100406
作者简介:尚建力(
1986
—),男,博士研究生,主要从事固体激光器及激光技术方面的研究。
Email
:
shan
gj
ianli
@
g
mail.com
导师简介:朱
晓(
1963
—),男,教授,博士生导师,主要从事固体激光器与激光技术方面的研究。
Email
:
zx
@
mail.hust.edu.cn
1
引
言
激光广泛应 用在工业和 科学研究的 众多领域。
相对于高斯光束,光 强 分布为平 顶 函数的激 光 光束
往往 在 材 料 加 工
[
1
,
2
]
、激 光 全 息、光 刻、非 线 性 光 学
技术等领域更加 实 用。因此,高效地将 高 斯激光光
束转换为平顶光束的整形技术研究很有必要
。
目前,将 高斯光束转 换为平顶光 束的方法主 要
有利用二元光学元件
[
3
~
6
]
、球面透镜阵列
[
7
]
、变折 射
率透镜
[
8
]
、积分镜
[
9
]
和折射式透镜整形等方法。其
中折射式透镜整形方法很适合应用于高功率激光材
料加工等方面
。
对于 能 量 分 布 为 轴 对 称 的 激 光 光 束,
B.R.
Frieden
[
10
]
和
J.L.Kreuzer
[
11
]
分 别 于
1965
年 和
1969
年提出利用 单个球面透 镜的整形方 法。
20
世
纪
60
年代,就有人提出利用非球面镜对高斯光束整
形的设想。
1993
年,
W.Jian
g
等
[
12
]
才 发 表 了 相 应
的实验结果。近年来,利用磁流变抛 光法(
MRF
)技
术
[
13
]
人们可以 容 易 地 获 得 精 度 很 高 且 费 用 可 接 受