微电子器件测试：二极管特性与Keithley2400源表应用

"微电子实验器件课程的实验内容主要围绕二极管电学特性的测试展开，涉及的关键设备包括Keithley2400源表和SM-4多探针电学测量平台，以及Labview软件的应用。实验目的是通过测试判断器件的成功制备并理解其主要特性。" 在微电子实验中，测试是评估器件性能的关键步骤。实验十六重点讲解了如何对二极管进行电学特性测试。二极管是一种基础半导体器件，它的特性直接影响到电路的工作性能。测试二极管能够帮助我们理解其正向导通和反向截止的行为，以及它的伏安特性。 Keithley2400源表是一种多功能的仪器，它能同时作为电源和测量设备使用。在实验中，首先需要设定源表的输出电压，然后开启测量电流模式。通过观察屏幕上的量测值、输出状态、电源输出值和箝位值，可以实时监测二极管的响应。操作步骤包括连接探针、设定电压、开启输出、量测电流，并从面板读取数据。 SM-4多探针电学测量平台则是将被测器件与测量仪器相连的工具。该平台配备显微镜系统，用于精确对准探针对样品的接触。操作流程包括放置样品、开启真空吸附、调整样品位置、对准探针和PAD，最后通过显微镜观察确保探针准确接触样品的导电区域。 Labview是一款强大的图形化编程环境，常用于数据采集和仪器控制。在本实验中，通过GPIB接口连接Keithley2400源表，可以实现自动化测试，记录和分析二极管的电学特性曲线。用户可以编写程序控制源表进行一系列电压扫描，同时收集电流数据，绘制出I-V特性图，从而深入分析二极管的特性。 通过这样的实验，学生不仅可以掌握基本的测试技术，还能深入了解二极管的工作原理，为后续的微电子设计和研究打下坚实基础。同时，实验过程也锻炼了动手能力和问题解决能力，使理论知识与实践相结合，提高了学习效果。