基于相位相关校准的MEMS微运动纳米精度测量方法

本文主要探讨了"基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量"这一主题，发表在2009年6月的《天津大学学报》上，是自然科学领域的论文。微电子机械系统（MEMS）谐振器的周期性运动特性及其动态参数对于MEMS器件的设计至关重要。研究人员提出了一个创新的方法，即利用相位相关技术的亚像素运动估计算法，该方法旨在通过校准相关拟合方法中的误差，提升物体运动的分辨率，从而实现纳米级别的精确测量。 在研究过程中，研究人员应用该算法对MEMS器件的运动轨迹进行深入分析，特别是在特定驱动频率下，能够得到器件的幅度-相位曲线，这有助于深入了解其动态行为。同时，他们采用扫频测量原理来获取MEMS器件的幅频特性，这是评估其性能和稳定性的关键指标。 实验结果显示，这种方法显示出优秀的测量精度，其分辨率达到了5纳米以下，这对于微尺度设备如MEMS的制造和应用具有重要意义。研究还涉及到了计量学、MEMS谐振器、动态特性和相位相关的应用，以及亚像素测量技术，这些都是现代微电子技术中前沿且至关重要的领域。 论文的作者包括陈治博士、胡晓东、傅星和胡小唐，他们分别来自天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，陈治和胡小唐是论文的主要贡献者，通讯作者为胡小唐。该研究不仅推动了MEMS领域的测量技术进步，也为精密工程和纳米科学的发展奠定了基础。