激光耦合三束等离子体极紫外光源研究

"这篇文章主要探讨了激光在毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源中的作用，这是极紫外光刻技术(EUVL)的重要研究领域。EUVL利用13.5纳米波长的极紫外光，旨在突破半导体制造的30纳米技术节点，实现更精细的工业化生产。毛细管放电源因其高能量转换效率，能够直接将电能转化为等离子体的EUV辐射。 毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体间的洛仑兹力相互作用，创造出大面积的EUV辐射区域。这种耦合机制能够在满足光刻需求的同时，显著降低毛细管放电的重复频率，从而优化光刻生产过程。 文章指出，在实现实时三对电极放电和放电与激光同步触发的基础上，进一步研究了激光对耦合光源性能的影响。实验结果显示，位置耦合对EUV光源性能的提升影响不大，而由激光等离子体产生的动力耦合成为了关键问题。这表明，优化激光等离子体的动态行为对于提高光源效率至关重要，也是未来研究需要逐步解决的重点。 本文的关键词包括激光光学、极紫外光源、毛细管放电、三束等离子体和激光等离子体，涉及的学科领域是激光技术和光学，特别是应用于微电子制造的极紫外光刻技术。文章的文献标识码为A，分类号为TN249和O539，doi为10.3788/CJL201542.0602009，表明这是一项科学研究成果，对理解EUV光源的优化和激光作用有重要参考价值。"