FEI Nova Nanolab 200 XT安全与操作手册指南

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"FEI Nova Nanolab 200 Manual(XT)" 是一份详细的用户手册，专为FEI公司的Nova FIB（Focused Ion Beam）系统新手设计，特别是Nova NanoLab型号。该手册第五版发布于2006年2月15日，版权归属于FEI公司，强调所有权利保留。手册包含了重要的安全与操作指南，旨在确保用户在使用这款精密仪器时能够遵循最佳实践。第1章"SAFETY & HANDLING"是手册的核心部分，着重介绍了实验室安装的特定要求。这包括确保电子列的操作安全，强调了只有经过培训的服务人员才能进行维护工作。用户维护部分讲解了日常保养和清洁的注意事项，以及使用过程中的符号和术语解释，如电压、互锁机制、线电压、电源连接、接地等，这些都是保证设备稳定运行的基础。电压等级和相关安全规范是必不可少的，因为它们可能因地区而异。手册还提到，设备配备了应急按钮和紧急关闭开关，以应对突发情况。化学物质的处理也是关键章节，特别是对溶剂、氮气（包括液氮）的安全使用和储存，这些化学物质的不当处理可能会对环境和操作者构成风险。另外，手册还提到了电气设备的防护措施，如电风扇和泵的使用，以及在实验室环境中避免潜在的火灾或电气伤害的预防措施。在阅读过程中，读者可以找到详细的图解和表格列表，帮助理解复杂的系统组件和操作流程。这份FEI Nova Nanolab 200 Manual(XT)为新手提供了全面的指导，涵盖了从设备安装到日常操作，再到紧急情况处理的各个方面，确保用户在使用过程中既安全又高效。通过遵循手册中的各项规定，用户能充分利用这一先进的纳米级显微切割和分析工具。"

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EPM Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-54

EPM SCALING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-54

MEASUREMENT FUNCTION ACTIVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-55

ANNOTATION FUNCTION ACTIVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-56

ENHANCED IMAGE MIX FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-57

PATTERN SELECTION CONTROLS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-60

PATTERN PROPERTIES CONTROL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-61

GAS INJECTOR OVERVIEW / DETAILS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-61

WORKING WITH NOVA NANOLAB 5

STARTUP XT SPLASH SCREEN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2

RELATIONSHIP OF THE TWO COLUMNS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6

REQUIRED MATERIALS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10

CLAMP THE ROW HOLDER ON THE TABLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10

TEM SAMPLE / TEM SAMPLE MOUNTED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11

USE OF THE HAND CLAMP. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11

SAMPLE VISE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12

RELATION BETWEEN VIEWED IMAGE AND STAGE . . . . . . . . . . . . 5-13

BEAM INDICATORS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-16

ETD DETECTION CHOICE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17

ETD CUSTOM MODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-17

MODE 1 & 3 TLD CHOICES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18

MODE 2 TLD CHOICES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-18

CDEM DETECTION CHOICE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19

THE STEM DETECTOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-20

STEM DETECTOR CHOICES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21

ACB DIALOG BOX. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-25

AUTO FOCUS DIALOGUE BOX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-27

AUTO STIGMATOR DIALOGUE BOX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29

HV RELATED BEAM CURRENT VALUES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-30

THE HEATED APERTURE HOLDER MODULE . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31

MAGNIFICATION PRINCIPLE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-35

SNAPSHOT SETUP. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-38

SAVE AS... DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-41

THE MOVIE TAB DIALOGUE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-43

FEI MOVIE CREATOR TAB: FILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-48

BROWSE DIALOGUE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-48

MOVIE CREATOR TAB:DATABAR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-50

MOVIE CREATOR TAB: PREVIEW. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-51

PRINTER SETUP DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-52

IMPORT OPEN DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-53

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EXPORT SAVE AS...DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-53

PATTERN SELECTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-57

RESIZING HANDLES / PATTERNING CURSORS . . . . . . . . . . . . . . . . .5-58

REORDERING PATTERNS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-59

APPLICATION FILES CHOICE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-60

GAS INJECTOR OVERVIEW / DETAILS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-65

EPM OPTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-67

EPM SCALING. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-67

BEAM COINCIDENCE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-69

A TYPICAL CROSS SECTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-73

CROSS SECTION VIEWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-76

CROSS SECTION VIEWING DURING MILLING . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-77

CROSS SECTION VIEWING AT 0° TILT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-78

VIEWING AT 0° TILT ROTATED 180° . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-79

CONTROLS FOR MEASUREMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-80

CONTROLS FOR ANNOTATIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-82

RESIZING HANDLES / GRAPHIC CURSORS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5-84

FEI ACCOUNT ADMINISTRATORS OVERVIEW . . . . . . . . . . . . . . . . .5-85

STAGES 6

NANOLAB 200 STAGE MANUAL CONTROLS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-2

NANOLAB 200 STAGE MOVEMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-3

NANOLAB 200 EUCENTRIC ADJUSTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-4

200 STANDARD SAMPLE HOLDERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-5

NANOLAB 600 STAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-6

NANOLAB 600 STAGE MOVEMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-7

600 STANDARD SAMPLE HOLDERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-8

UNDERSTANDING EUCENTRIC HEIGHT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-9

IMPORT DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-13

EXPORT DIALOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-13

MAP ELEMENTS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-14

MAP MAGNIFICATION (ZOOM) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-16

TRACK FUNCTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-19

GET FUNCTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-20

ARROW KEYS FOR STAGE FRAME SHIFT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-20

XT ALIGN FEATURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-21

COMPUCENTRIC ROTATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-23

SCAN ROTATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-28

SCAN ROTATION FROM THE BEAM PAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6-29

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MAINTENANCE 7

ELECTRON COLUMN APERTURE MODULE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7-2

HARD & SOFTWARE OPTIONS 8

AUTOFIB WINDOW . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-3

DRIFT CONTROL DEFAULTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-7

BEAM SHIFT CALIBRATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-10

DYNAMIC DRIFT CONTROL MENU BAR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-10

SCRIPTING DIALOG BOX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-11

SCRIPTING PARAMETERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-12

AUTO SLICE & VIEW PROCESS STEPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-21

AUTO SLICE AND VIEW MOVIE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-32

TEM SAMPLE PREPARATION PROCESS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-34

PROTECTIVE LAYER ON LIFTOUT SAMPLES . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-36

ROUGH MILLING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-36

CUTOUT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-36

MEDIUM MILLING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-37

FINE MILLING. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-37

FINE POLISHING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-37

MEMBRANE DEFINITION PROCESS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-39

REPRESENTATION OF TEM MEMBRANE

AND IMAGE RECOGNITION CROSSES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-41

X PAD DEPOSITION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-42

MEMBRANE POSITIONING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-42

GROUNDING LAYERS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-44

MEMBRANE MILLING PROCESS USING RUNSCRIPTS . . . . . . . . . . .8-45

DATA1.INI FILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-46

LIFTOUT SAMPLES VIEWED AT 7° . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-47

RUN AUTOFIB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-47

AUTOFIB SCRIPTING DIALOG BOX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-48

PGA VISE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8-61

ALIGNMENTS 9

THE HEATED APERTURE HOLDER MODULE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-7

FINAL LENS APERTURE CONTROL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9-8

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List of Tables

SAFETY & HANDLING 1

DC POWER WIRE CODING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

AC CABLE CODING . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

SYSTEM OVERVIEW 2

SYSTEM OPERATION 3

LEAVING THE SYSTEM OVERNIGHT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5

RETURNING TO OPERATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6

GOING INTO STANDBY MODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7

STARTUP AFTER STANDBY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8

COMPLETE SHUTDOWN PROCEDURE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10

STARTUP FOR OPERATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11

USER INTERFACE 4

MENUS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10

TABBED PREFERENCES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-29

DATABAR STATUS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-41

PAGES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-42

STATUS ICON FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-64

MOUSE BUTTON FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-66

DEDICATED WINDOWS kEYS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-67

FUNCTION KEY SHORTCUTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-68

SPECIFIC KEY SHORTCUTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-69

MUI SOFTWARE CONTROL EQUIVALENTS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-70

WORKING WITH NOVA NANOLAB 5

XT STARTUP CONDITIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3

STRATA SETUP CONDITIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4

BEGINNING YOUR SESSION. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5

ENDING YOUR SESSION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7

EXCHANGING A SAMPLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-9

OBTAINING AN IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-14

DETECTOR MODES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-15

CDEM DETECTOR SETUP GUIDELINES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-19

STEM DETECTOR POSITIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-21

C & B OPERATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-24

CORRECTING C & B . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-25

CORRECTING FOCUS WITH THE MOUSE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-26

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MOUSE CORRECTED ASTIGMATISM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-28

STIGMATING WITH THE MUI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-29

DEFAULT FACTORY APERTURE SIZES. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-31

ALIGNING THE FINAL LENS APERTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-32

GENERAL OPTIMAL I-BEAM CURRENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33

SPECIFIC OPTIMAL I-BEAM CURRENTS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-33

USING MOUSE WHEEL MAGNIFICATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-36

USING SNAPSHOT FOR IMAGE CAPTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-39

USING PHOTO FOR IMAGE CAPTURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-40

SET-UP AND RECORDING A MOVIE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-46

IMAGE PRINTING PROCEDURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-52

PATTERN TOOL FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-55

COLOR SETTINGS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-56

SILICON APPLICATION FILE (NON-GAS). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-60

SILICON APPLICATION FILE (GAS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-61

MATERIAL SPUTTER RATES AT 30 kV . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-62

PATTERNING FILE BASIC PROPERTIES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-63

PATTERNING FILE ADVANCED PROPERTIES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-63

SETTING UP THE GIS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-66

SETTING UP THE EPM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-68

MILLING A PATTERN . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-70

BEAM CURRENTS/MILLING TIMES BY APPLICATION. . . . . . . . . . . 5-71

MILLING A SPOT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-72

MAKING THE FIRST CROSS SECTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-74

MAKING THE SECOND CUT (OPTIONAL) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-75

MAKING THE FINAL CUT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-75

USING MEASUREMENT FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-81

USING ANNOTATIONS FUNCTIONS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-83

STAGES 6

FINDING EUCENTRIC HEIGHT MANUALLY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10

ALIGNING BOTH BEAMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-10

MAP ELEMENT FUNCTIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-14

SETTING ALIGN FEATURE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-22

DEFINE USER UNITS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-24

ALIGNMENT TYPE DIFFERENCES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-27

MAINTENANCE 7

HARD & SOFTWARE OPTIONS 8

AUTOFIB MODES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-3

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