SEMI E4-0699: SECS-I消息传输标准详解

SEMI E4-0699标准，全称为《半导体设备通信标准1 - 消息传输》(SEMIEQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER, 简称SECS-I)，是由全球信息与控制委员会批准的技术规范，主要由北美信息与控制委员会负责。1999年2月28日，北美区域标准化委员会批准了该标准的最新版本，最初于同年5月在SEMI在线平台上发布，计划于6月正式出版。SECS-I最初于1980年发布，1999年1月进行了更新。 该标准的主要目标是为半导体生产设备与主机之间的消息交换提供一个通用的通信接口。尽管自1980年以来经历了第一次重大修订，但原始理念变化不大，仅添加了一些重要的新内容。修订内容概述见附录1，标准的制定过程中得到了日本电子工业发展协会委员会12关于设备通信的积极参与。 SEMI E4-0699中的消息被分为两类：数据消息(Data Message)和控制消息(Control Message)。消息帧格式包括以下几个关键部分： 1. **消息长度** (Message Length)：表示“消息头+消息文本”的总长度，高位字节在前，低位字节在后。 2. **消息头** (Message Header)：由10个字节组成，虽然沿用了SECS-I的结构，但与之有所区别。具体细节如下： - **会话ID** (Session ID)：由2个字节表示，用于唯一标识会话。 - **Header Byte2**： - 对于控制消息，这个字节的值可能是0或状态代码。 - 对于数据消息，当PType（呈现类型）为0时，该字节包含W-Bit（可能的位）和SECS Stream（类似于SECS-I），如果PType非0，则有不同的含义，但未做具体定义。 - **Header Byte3**： - 同样，对于控制消息，此字节可能是0或状态代码。 - 对于数据消息，当PType为0时，包含功能码。 - **PType (Presentation Type)**：一个枚举值，0表示使用SECS-II编码格式，1127保留给其他标准，128255为未启用状态。 - **SType (Session Type)**：0标识数据消息，其他已定义的为特定的控制消息，未定义的可能在特殊考虑范围内定义，通常不需要关注。 - **Stream Bytes**：4个字节的帧表示码，与SECS-I类似，但每个帧的具体内容不同。对于回复消息，帧码需与发送消息保持一致。 SECS-I标准的修订旨在保持与原有的兼容性，同时引入新的功能和技术以适应不断发展的半导体设备通信需求。通过遵循这个标准，制造商和系统集成商可以确保设备间的可靠通信，从而提高整个生产线的效率和一致性。