溶液燃烧法制备AZO透明导电薄膜的研究

3 下载量 151 浏览量 更新于2024-09-05 收藏 697KB PDF 举报
"AZO透明导电薄膜的制备及性质研究,主要探讨了利用溶液燃烧法制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的过程和特性。这种方法基于硝酸根与乙酰丙酮的自蔓延反应,可以解决传统溶胶凝胶法的高温退火和衬底限制问题。实验在不同铝掺杂浓度和退火温度下制备薄膜,并通过多种测试手段进行了详细分析。结果显示,铝掺杂浓度1.0%,退火温度在200℃至300℃区间内,能得到电阻率为90.305Ω·cm、可见光透过率超过80%的优质AZO薄膜。关键词包括AZO透明导电薄膜、溶液燃烧法、电阻率和可见光透过率。" 本文是长春理工大学的研究成果,由徐英明、郝旺等研究人员完成,得到了长春理工大学青年基金和大学生创新创业训练计划项目的支持。研究中,作者采用了一种名为溶液燃烧法的新技术来制备AZO透明导电薄膜。这种技术的核心是利用硝酸根与乙酰丙酮的自蔓延反应,该反应释放大量热量,使得制备过程无需过高退火温度,同时也突破了衬底材料的局限性,相比传统溶胶凝胶法更具优势。 实验部分,研究者在不同铝掺杂浓度下制备了AZO薄膜,并对退火温度进行了调整。通过优化这些参数,他们发现铝掺杂浓度为1.0%时,结合200℃至300℃的退火处理,可以得到性能优异的AZO薄膜。这些薄膜表面光滑,无裂痕,具有较低的电阻率(90.305Ω·cm)和较高的可见光透过率(超过80%)。这些特性使得AZO薄膜在光电设备、显示器、太阳能电池等领域具有广阔的应用前景。 通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔测试仪和紫外分光光度计等设备,研究人员对薄膜的微观结构、晶体取向、电学性能和光学性能进行了深入的表征和分析。这些测试结果验证了溶液燃烧法制备的AZO薄膜在透明导电性能上的优越性。 这项研究不仅创新性地采用了溶液燃烧法制备AZO透明导电薄膜,而且在优化工艺参数后得到了具有低电阻率和高透光性的薄膜样品,对于提升相关领域的材料性能和降低生产成本具有重要意义。同时,这也为未来的AZO薄膜优化设计和新型透明导电材料的研发提供了有价值的参考。