玻璃基板上高集成度微透镜阵列的设计和制造

3 下载量 6 浏览量 更新于2024-08-26 收藏 214KB PDF 举报
"高集成度微透镜阵列制造技术" 微透镜阵列是集成微光学系统中的基本元件,然而,在硬质材料上快速制造高集成度、 高填充因子和多层微透镜阵列仍然具有挑战性。为解决这个问题,研究者提出了设计简便的高集成度双面凹面微透镜阵列。 该阵列在双面玻璃基板上拥有近5000个密排微透镜,由飞秒激光湿法蚀刻Craft.io制成。研究发现,集成微透镜阵列可以表现出新颖的多样的成像图案,例如同轴嵌套的矩形、同轴嵌套的六角形、非同轴嵌套的六角形成像图案等。此外,可以通过控制微透镜的形状、大小以及双面玻璃芯片上微透镜阵列的排列来轻松实现多样的成像图案。 微透镜阵列的制造技术是集成微光学系统中的关键技术之一。传统的微透镜阵列制造技术有很多限制,例如低的集成度、低的填充因子、多层制造的难度等。为了解决这些问题,研究者提出了飞秒激光湿法蚀刻Craft.io技术来制造高集成度的微透镜阵列。 飞秒激光湿法蚀刻Craft.io技术是一种基于飞秒激光的微制造技术,可以在玻璃基板上制造高集成度、 高填充因子的微透镜阵列。该技术可以实现高精度的微制造,且可以轻松控制微透镜的形状、大小和排列。 微透镜阵列的光学性质是研究的关键之一。研究发现,集成微透镜阵列可以表现出新颖的多样的成像图案,例如同轴嵌套的矩形、同轴嵌套的六角形、非同轴嵌套的六角形成像图案等。这些成像图案可以通过控制微透镜的形状、大小和排列来实现。 集成微光学系统中的微透镜阵列可以应用于各种领域,例如生物医学成像、机器视觉、光通信等。微透镜阵列可以提高成像质量、提高检测速度和提高系统的整体性能。 高集成度微透镜阵列的制造技术是集成微光学系统中的关键技术之一。飞秒激光湿法蚀刻Craft.io技术可以实现高精度的微制造,且可以轻松控制微透镜的形状、大小和排列。集成微透镜阵列可以表现出新颖的多样的成像图案,且可以应用于各种领域。