Silvaco TCAD 2010 安装教程：快速设置与许可配置

"silvaco安装说明" Silvaco是一款广泛应用在半导体器件模拟与工艺开发领域的TCAD（Technology Computer-Aided Design）软件。本安装指南将详细解释如何简洁快速地安装Silvaco TCAD 2010版本。 1. **启动安装程序**: 首先，你需要运行安装文件`12110-tcad-2010-00-win.exe`。在安装界面中，确保勾选"Install License Server"选项，这将安装必要的许可证服务器组件。点击"Next"继续。 2. **设置服务器密码**: 安装完成后，系统会提示你输入服务器密码。你可以自定义一个密码，并确保记住它。此时，可能会自动打开一个网页，尽管可以暂时忽略，但稍后在配置过程中会用到。 3. **停止服务**: 在进行下一步之前，需要停止"StandardFloatingLicenseManager (SFLMSERVERD)"服务。你可以通过桌面快捷方式"S.EDATools"，选择"Stop Server"来停止服务。如果遇到安全软件的拦截，选择允许其操作。 4. **复制和替换文件**: 将`eetop.cn_key`文件夹内的`rpc.sflmserverd.exe`文件复制，然后找到Silvaco的安装目录，通常是`sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.3.R\x86-nt`，将文件替换原有的`rpc.sflmserverd.exe`。 5. **启动服务**: 通过快捷方式"StartServer"启动"StandardFloatingLicenseManager (SFLMSERVERD)"服务，确保此服务已经启动。 6. **访问服务器网页**: 安装结束后，或者通过快捷方式"SFLM Admin"，你可以打开服务器的网页。输入之前设置的密码并登录。在这里，你会看到一个独特的"Machine IDs"，这是每台电脑的唯一标识。 7. **修改许可证文件**: 使用记事本打开`eetop.cn_key`文件夹中的`Silvaco.lic`文件，将许可证文件中的`LM_HOSTIDS`行的"xxxxxxxx"部分替换为你刚刚复制的"Machine IDs"（注意不要在末尾添加空格）。将修改后的许可证文件复制到`sedatools\etc`目录下。 8. **安装许可证**: 在服务器网页的左侧菜单中，选择"Install new license"，然后点击"Install Saved File"。浏览至`sedatools\etc`目录，选择你修改过的`license`文件，最后点击"Agree"完成许可证的安装。 以上步骤详细描述了Silvaco TCAD 2010的安装过程，包括许可证服务器的配置和许可证文件的定制。遵循这些步骤，你应该能够成功安装并激活Silvaco软件，从而开始你的半导体器件模拟工作。在安装过程中如果遇到任何问题，确保检查系统防火墙设置，确保所有所需的服务都已启动，并且没有安全软件阻止安装进程。