大学生ALD项目：超薄HfO2介质研究记录

"该文件是关于大学生创新创业训练项目的记录册，详细记录了名为'原子层沉积（ALD）制备超薄HfO2介质工艺研究'的项目，由杨帆担任负责人，刘伊薇、李鑫为团队成员，由光电信息学院的李世彬老师指导，项目执行时间为2014年9月至2015年4月。记录册旨在跟踪项目进度，记录研究过程，包括成功的经验、失败的原因、与指导教师的交流、团队协作、经费使用情况等。项目经费主要用于购买ALD实验材料、气体源、化学试剂，以及进行XPS和原子力显微镜测试的费用。项目研究过程记录了从初期的项目规划、团队讨论、技术学习，到后续的实验操作和测试分析的全过程。" 这篇记录册揭示了以下重要的知识点： 1. 原子层沉积（ALD）技术：ALD是一种精密的薄膜沉积方法，通过周期性的反应物脉冲在基底表面形成单分子层的薄膜。在这个项目中，ALD被用于制备超薄的HfO2介质层，这可能是在微电子或光电子器件中的应用，如电容器、晶体管等。 2. 项目管理：大学生创新训练项目要求有严谨的管理和跟踪，包括定期记录研究进展，每两周一次的更新，以及指导教师的定期审查和签字。这有助于保持项目的透明度和质量。 3. 经费管理：项目经费主要用于实验材料的购置，如ALD所需的金属有机源、气体源，实验用的化学试剂，以及后期的测试服务，如XPS（X射线光电子能谱）和AFM（原子力显微镜）测试，这些都对理解材料性质和验证实验结果至关重要。 4. 团队合作与指导：团队成员与指导教师的交流和研讨是项目成功的关键。通过与教师的沟通，团队能够获取前沿知识，明确项目目标，规划实验步骤，并解决遇到的问题。 5. 实验流程：项目记录中体现了实验的准备阶段，包括了解ALD技术、讨论项目目标和实施方案，以及制定时间表和实验安排。这表明科学研究需要系统性和计划性。 6. 测试与分析：XPS和AFM测试是评估ALD薄膜性质的重要手段，前者可以提供元素组成和化学状态的信息，后者则可以观察薄膜的表面微观结构。 这样的记录册不仅记录了研究历程，也反映了大学生在创新创业过程中所面临的挑战、解决问题的方法，以及如何通过实际操作提升科研能力的过程。这对于其他学生和研究者来说具有很高的参考价值。