叉指微悬臂梁热成像系统光学原理与分析

"叉指微悬臂梁热成像系统的光学原理分析 .pdf" 这篇论文深入探讨了叉指形微悬臂梁热成像系统的光学原理，由刘明、董立泉等人撰写。他们运用波动光学理论来解析光学读出部分的工作机制。这种热成像系统的核心在于其微悬臂梁，当受到红外线热效应影响时，这些叉指形微悬臂梁会产生微小的离面位移变化。设计的目标是将这些微小的物理变化转化为图像上的光强度变化，从而通过图像采集和处理技术获取热图像。 论文中，作者们基于理论分析推导出叉指单元光栅间的平行度上限，这个参数对于保证系统性能至关重要，因为它直接影响到光能的利用率和图像质量。通过调整叉指形微悬臂梁阵列的光栅参数，可以优化系统性能，提高光能转化效率。 该研究聚焦于非制冷光读出焦平面阵列热成像技术，这是一种无需冷却装置的红外成像技术，具有成本效益高、便携性好等优点。焦平面阵列是这种技术的核心组成部分，它包含大量的传感器单元，每个单元都对应一个微悬臂梁，能够检测并转换热信号。 关键词包括焦平面阵列、双材料微悬臂梁、光学读出、红外成像和叉指形结构。这些关键词揭示了研究的主要领域和技术特点，双材料微悬臂梁是指由两种热膨胀系数不同的材料构成，这样的设计可以更敏感地响应温度变化。 中图分类号：TB535.1，表明这属于技术科学领域的光学理论专著。文章的结构包含了理论分析、实验设计、结果讨论等多个方面，为理解和优化这类热成像系统提供了深入的见解。 这篇论文对叉指形微悬臂梁热成像系统的光学原理进行了详尽的研究，不仅介绍了基本工作原理，还探讨了如何通过优化设计提升系统性能，对于红外成像技术的发展具有重要的理论与实践意义。