离轴非球面检测的投影畸变校正:基于CGH的仿射变换方法

2 下载量 183 浏览量 更新于2024-08-29 收藏 2.54MB PDF 举报
"计算全息图补偿检测离轴非球面中的投影畸变校正技术" 本文探讨了一种用于校正离轴非球面检测中因计算全息图(CGH)补偿引起的二维投影畸变的技术。离轴非球面在光学系统中具有广泛的应用,但其检测过程中容易出现投影畸变,这会严重影响测量精度。为解决这一问题,研究者提出了一种基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法。 首先,通过追踪检测光路来求解畸变映射函数,这是校正过程的关键步骤。通过对光路的精确模拟,可以计算出畸变的程度和模式,进而构建相应的校正模型。其次,利用镜面的特征点进行校正结果的高精度对准,确保校正后的图像能够准确地对应到非球面的实际形状。此外,设置校验特征点进行误差检验,可以进一步验证校正效果的准确性。 该技术在实际应用中,例如在一个800 mm×600 mm的离轴非球面主镜的检测和加工项目中,表现出了显著的效果。在进行校正前,工件面形位置误差达到了80 mm,而校正后,这一误差被降低到1 mm以下,极大地提高了检测的精度。基于校正后的数据,采用离子束抛光工艺对镜面进行精加工,最终实现了极高的面形精度,其均方根(RMS)误差仅为0.0162λ,λ为0.6328 μm,远优于未校正状态。 这一成果表明,基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法对于离轴非球面的高精度检测具有重要价值,能有效提升光学组件的制造质量。同时,这种方法也提供了对其他复杂光学系统中类似问题的解决方案,对于推动光学检测技术的发展具有重要意义。