"FBAR滤波器在5G通信中的仿真与制备研究"

本工程硕士学位论文主要研究了FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）滤波器的仿真与制备。随着移动通信技术的飞速发展，射频前端芯片中的滤波器已经成为了发展最快、最关键的模块。尤其是第五代通讯技术（5G）对小体积、高功率容量、高性能射频滤波器有着强劲的需求。 本研究以提高FBAR滤波器的性能为目标，使用了电磁场仿真软件对其进行了模拟分析。首先，作者从理论上研究了FBAR滤波器的工作原理和基本结构，包括电极设计、薄膜材料选择等方面。然后，利用COMSOL MultiPhysics软件对FBAR滤波器进行了电场和机械场模拟，并对其频率特性进行了分析。 在仿真结果的基础上，作者设计了FBAR滤波器的制备工艺。首先，选取了合适的材料，并通过离子束刻蚀技术制备了FBAR薄膜。然后，采用电子束蒸发技术沉积了FBAR滤波器的电极。接下来，进行了FBAR滤波器的制备和测试。通过对制备工艺的优化，作者成功地制备了一种性能良好的FBAR滤波器。 在性能测试方面，作者对制备的FBAR滤波器进行了频率响应测试和带宽测试。结果表明，制备的FBAR滤波器具有较小的插入损耗和良好的带宽特性。仿真与实验结果的对比说明，所设计的FBAR滤波器具有较好的性能一致性，验证了其仿真模型的准确性。 此外，本文还对FBAR滤波器的应用进行了探讨。作者以5G通信为背景，讨论了FBAR滤波器在5G射频前端芯片中的应用前景。结果显示，FBAR滤波器因其小体积、高功率容量和高性能的特点，在5G通信领域具有巨大的应用潜力。 综上所述，本工程硕士学位论文通过对FBAR滤波器的仿真与制备研究，深入地探究了其工作原理和制备工艺。优化后的FBAR滤波器在频率响应和带宽特性方面均取得了较好的性能。此外，对其在5G通信中的应用也进行了前景展望。这些研究成果对FBAR滤波器在射频前端芯片中的应用具有一定的指导价值。总之，本研究在FBAR滤波器的仿真与制备方面取得了一定的创新与突破。