尼康在光刻工具供应商的里程碑

"这篇文档是关于光刻工具供应商的重要里程碑，特别是聚焦于尼康（Nikon）在光刻技术发展历程中的关键事件。光刻工具在半导体制造中扮演着至关重要的角色，它们用于创建微小的电路图案在硅片上，是集成电路制造的核心技术之一。尼康作为全球领先的光刻机供应商，其发展历程对整个行业产生了深远影响。" 尼康（Nikon）在光刻技术领域的里程碑： 1. **1976年** - 尼康开始在麻省理工学院（MIT）的合同下开发SR-1步进重复相机。该相机的目标是对GCA进行复制，并在1978年完成。 2. **1980年** - 尼康在日本推出了首款商业化步进器NSR-1010G，标志着其在光刻领域的正式入场。 3. **1982年** - 尼康将首台步进器出口到美国，标志着其全球化市场的开拓。 4. **1984年** - 尼康在步进器出货量和销售额上与GCA打成平手，并在1985年超越GCA，主要优势在于其更亮的光源带来的更高生产效率。 5. **1984年** - 尼康推出了第一台i-line步进器NSR-1010i3，进一步扩展了产品线。 6. **1987年** - 尼康的步进器累计销量达到1000台，显示出其在市场上的成功。 7. **1988年** - 尼康推出了第一台KrF（氟化氪）步进器NSR-1505EX，但因过于专注于KrF技术发展，暂时落后于i-line技术。 8. **1989年** - 尼康曾考虑收购Perkin-Elmer，但由于在美国引起争议，这一计划最终被放弃。 9. **1995年** - 尼康推出世界首款基于镜头的扫描工具NSR-S201A，这是对扫描曝光技术的重大突破，因为之前SVGL采用的是猫adioptric设计。 10. **1996年** - 步进器累计销量达到5000台，显示了尼康在市场的稳固地位。 11. **1999年** - 尼康开发出首款ArF（氟化氩）扫描仪NSR-S302A，这标志着公司在先进光刻技术上的持续创新。 这些里程碑事件展示了尼康在光刻技术领域的领导地位和技术创新能力，尤其是在步进器和扫描仪的发展过程中。随着技术的进步，尼康不断适应并引领了半导体制造业的需求，推动了全球半导体技术的发展。