REVIEW|综合评述
激光与光电子学进展
2009.09
p 型透明导电材料及器件应用研究
进展
FrontierofP-TypeTransparentConductiveThinFilmsand
Devices
王华
1
冯湘
2
许积文
1
任明放
1
杨玲
1
1桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,广西桂林 541004
2 郑州铁路职业技术学院机电系,河南郑州 450052
蓸 蔀
WangHua
1
FengXiang
2
XuJiwen
1
RenMingfang
1
YangLing
1
1 DepartmentofInformationMaterialScienceandEngineering,GuilinUniversityofElectronicTechnology,
Guilin,Guangxi 541004,China
2 DepartmentofElectromechanicalEngineering,ZhengzhouRailwayVocational&TechnicalCollege,
Zhengzhou,Henan 450052,China
晌
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摘 要
基于透明器件广阔的应用前景
,
p 型透明导电材料及器件应用成为该领域研究的热点
,并在近年来取得
了令人瞩目的进展。综述了 p 型 ZnO 基氧化物、p 型含铜氧化物、p 型硫族化合物等透明导电材料及其器
件应用的研究现状,重点介绍了近年来出现的 p 型掺杂的新方法、新机制及新材料的性能,并 指 出了今
后的发展趋势和研究重点。
关键词
薄膜;透明导电材料
;
p 型掺杂
;器件
Abstract Afrontieroftransparentsemiconductorsisopeningasaconsequenceofdiscoveryofp-type
transparentconductivethinfilms.Therecentadvancementofp-typetransparentconductive
materialsofZn-basedoxide,Cu-basedoxysulfidesandrelateddevicesisreviewed.Thenew
dopingmethod,conductivemechanism,propertiesofthep-typetransparentconductivematerials
areemphasized.Andtheforegroundisalsoprospected.
Keywords thinfilm;transparentconductivethinfilm;p-typedoping;device
中图分类号
:O475 doi:10.3788/LOP20094609.0040
1
引言
透明导电材料以较高的电导率和良好的透光性
等特性广泛应用于平板显示器件、太阳能光伏电池、
反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层以及光
电子、微电子、真空电子器件等领域
。在光电子产业
中,透明导电薄膜占有重要的地位
,相关产品年销售
量估计达 250 亿美元
[1]
。透明导电材料根据导电载流
子的类型分为 n 型和 p 型两类。但长期以来,n 型透
明导电材料无论是性能还是应用方面都远远超过 p
型材料。迄今为止,投入商业应用的都是 n 型透明导
电材料,相关器件在电路应用中只能作为无源器件,
因而限制了透明导电材料的利用空间
。如果能制备出
性能优良的 p 型透明导电材料,则可以制作透明 p-n
结、透明 FET 等有源器件,甚至实现透明电路,因而
可以大大拓展透明导电材料的应用领域
,大 幅提升其
科学研究和社会经济价值
。
1997 年
,
Kawazoe 等
[2]
通
过新的材料设计思路,首次制备出了在室温下呈现较
好 p 型导电性的铜铁矿结构 CuAlO
2
透明薄膜,2000